| 图 片 |
设备名称 |
制造商 |
型号 |
年份 |
详细配置 |
状 态 |
 |
KARL SUSS MA6光刻机(双面) |
KARL SUSS |
MA6/BA6 |
1997 |
6"设备完整不缺件,欧洲翻新中; |
国外
|
 |
DISCO DFL7161激光开槽机 |
DISCO |
DFL7161 |
2020 |
设备完整不缺件,之前切2"&4"蓝宝石Wafer,镭射波长355n |
国外
|
 |
KLA SF27缺陷检测 |
KLA |
SF27 |
- |
设备完整不缺件; |
国内
|
 |
CANON FPA-3000EX5光刻机 |
CANON |
FPA-3000EX5 |
1998 |
设备完整不缺件,国内交货,含安装调试; |
国外
|
 |
CANON FPA-3000EX6光刻机 |
CANON |
FPA-3000EX6 |
2001 |
8"设备完整不缺件,可改6"4"; |
国内
|
 |
NIKON NSR 2005i10C光刻机 |
NIKON |
NSR-2005i10C |
- |
设备完整不缺件; |
国内
|
 |
KLA candela CS20表面分析仪 |
KLA |
CS20 |
- |
设备完整不缺件; |
国内
|
 |
ASML PAS 5500/1150C光刻机 |
ASML |
5500/1150C |
2006 |
8"/200mm设备完整不缺件,在线热机; |
国外
|
 |
HITACHI SU-8010扫描电镜 |
HITACHI |
SU-8010 |
2013 |
设备完整不缺件,含安装调试培训; |
国内
|
 |
PVA TePla IoN 40等离子清洗机 |
PVA TePla |
IoN 40 |
2022 |
德国产设备完整不缺件; |
国内
|
 |
DELTA 5001离线分拣机 |
DELTA |
5001 |
2018 |
设备完整不缺件,有2台现货,无硬盘; |
国内
|
 |
FSE FU-20PEB-RH-1200蒸发台 |
FSE |
FU-20PEB-RH-1200 |
2007 |
设备完整不缺件,台湾富临1米2腔体,在无尘室没有拆机,坩埚4个*4 |
已售出
|
 |
TOHO FLX-2320-S应力测试仪 |
TOHO |
FLX-2320-S |
2007 |
设备完整不缺件; |
国内
|
|
Aixtron Aix 2800G5 HT MOCVD设备 |
Aixtron |
Aix 2800G5 HT |
2010 |
设备完整不缺件; |
国外
|
|
Aixtron Aix 2800G4 HT MOCVD设备 |
Aixtron |
Aix 2800G4 HT |
2007 |
设备完整不缺件; |
国外
|
 |
EVATEC RAD BPM3 PVD薄膜沉积设备 |
EVATEC |
RAD BPM3 |
2019 |
设备完整不缺件; |
国内
|
|
HITACHI S-7840扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-7840 |
2000 |
4"设备完整不缺件100mm; |
国外
|
 |
EBARA F-REX300 CMP化学机械研磨 |
EBARA |
F-REX300 CMP |
2002 |
12"设备完整不缺件300mm; |
国外
|
 |
ULVAC Zi-1000N薄膜测量系统 |
ULVAC |
Zi-1000N |
2001 |
少冷冻机,其他都完整; |
国内
|
 |
KLA Leica INS3300晶圆缺陷检测 |
KLA |
Leica INS3300 |
2015 |
设备完整不缺件; |
国内
|
 |
TEL ALPHA-808SC LPCVD化学气相沉积 |
TEL |
ALPHA-808SC |
1994 |
在线热机,设备完整不缺件; |
国外
|
|
Aixtron AIX G5 HT MOCVD化学气相沉积 |
Aixtron |
G5 HT |
2016 |
4"6"设备完整不缺件, 3相,4线+地,208/120V,满载安 |
国外
|
 |
ASM Epsilon 2000 EPI PR外延沉积设备 |
ASM |
Epsilon 2000 EPI PR |
2001 |
设备完整不缺件,在线热机在欧洲,有4台现货(有台2000年); |
国外
|
|
VEECO K475 MOCVD化学气相沉积 |
VEECO |
K475 |
2015 |
6"(可设置为任何晶圆尺寸),AsH3 PH3 N2 H2, 8片 |
国外
|
|
DNS CW-2000晶圆清洗设备 |
DNS |
CW-2000 |
- |
设备完整不缺件; |
国外
|
 |
TEL TE8500蚀刻机 |
TEL |
TE-8500 |
1995 |
设备完整不缺件,单腔,可以刻蚀SiO2和SiN,150mm已调试好 |
国内
|
 |
ASM AD838L-G2全自动固晶机 |
ASM |
AD838L-G2 |
2015 |
设备完整不缺件; |
国内
|
|
NIKON NSR-TFHi14DL光刻机 |
NIKON |
NSR-TFHi14DL |
2006 |
8"设备完整不缺件,200mm; |
国外
|
|
DISCO DFG840研磨机 |
DISCO |
DFG840 |
2005 |
设备完整不缺件; |
国外
|
 |
DISCO DFG8560研磨机 |
DISCO |
DFG8560 |
2004 |
12"设备完整不缺件,在线热机; |
国内
|
|
DISCO DFD6350晶圆切割机 |
DISCO |
DFD6350 |
2003 |
设备完整不缺件; |
国外
|
|
TEL MARK8涂胶显影机 |
TEL |
MARK8 |
- |
设备完整不缺件; |
国外
|
|
KLA Surfscan SP2晶圆检测系统 |
KLA |
SP2 |
2011 |
设备完整不缺件,在线热机,晶圆片300mm; |
国外
|
 |
DISCO DFG850研磨机 |
DISCO |
DFG850 |
2000 |
设备完整不缺件,设备已被拆卸并存储在仓库中; |
国外
|
 |
TEL ALPHA 8S高温扩散炉 |
TEL |
ALPHA-8S |
1998 |
设备完整不缺件,有4台在美国; |
国外
|
 |
AMAT Endura 5500 MOCVD气相沉积设备 |
AMAT |
Endura 5500 |
1996 |
6"PVD System,
Can be converted |
国外
|
 |
DISCO DFG8540研磨机 |
DISCO |
DFG8540 |
2018 |
设备完整不缺件,美国仓库中; |
国外
|
|
KLA Candela 8420表面缺陷检测系统 |
KLA |
Candela 8420 |
2020 |
设备完整不缺件,20年入厂,设备九成新以上; |
国内
|
|
DISCO DAD3350晶圆切割机 |
DISCO |
DAD3350 |
2014 |
设备完整不缺件; |
国内
|
|
TEL MARK7涂胶显影机 |
TEL |
MARK7 |
- |
设备完整不缺件; |
已售出
|
 |
DISCO DAG810研磨机 |
DISCO |
DAG810 |
2015 |
在线热机,设备完整不缺件; |
国内
|
 |
LAM TCP9600SE等离子体刻蚀机 |
LAM |
TCP9600SE |
2005 |
6"设备完整不缺件,150mm; |
国外
|
|
OXFORD Plasmalab 100ICP蚀刻系统 |
OXFORD牛津 |
100 ICP |
2022 |
完整安装,包括支持设备,如气柜,泵,冷却器等,可容纳100mm晶圆 |
国外
|
|
ACCRETECH UF200探针台 |
ACCRETECH |
UF200 |
2000 |
Btu关闭,4台运行1台不运行,完整的硬盘和软件包括在内.2000 |
国外
|
|
DISCO DAD3240划片机 |
DISCO |
DAD3240 |
2014 |
设备完整不缺件; |
国外
|
|
ACCRETECH UF3000EX探针台 |
ACCRETECH |
UF3000EX |
2020 |
设备完整不缺件,在亚洲仓库,包括hdd和sw; |
国外
|
|
DISCO DFG850研磨机 |
DISCO |
DFG850 |
2000 |
设备完整不缺件,设备已被拆卸并存储在仓库中; |
国外
|
|
KLA SURFSCAN SFS6220颗粒检测仪 |
KLA科磊 |
SFS6220 |
1997 |
2016年翻新,激光器于2020年3月更换,最后一次PM于2023 |
国外
|
|
LAM RAINBOW 4520i干法刻蚀机 |
LAM |
4520i |
2000 |
设备完整不缺件,在美国仓库中; |
国外
|
|
LAM RESEARCH 9400等离子刻蚀机 |
LAM |
9400 |
2000 |
设备完整不缺件,在美国仓库中; |
国外
|
|
DISCO DAD3350晶圆切割机 |
DISCO |
DAD3350 |
2010 |
设备完整不缺件; |
国内
|
|
NIKON NSR 2005i10C光刻机 |
NIKON |
NSR-2005i10C |
- |
设备完整不缺件在日本; |
国外
|
|
ASML PAS 5500/850D光刻机 |
ASML |
850D |
2005 |
设备完整不缺件,2024.01月停产,目前仍通电中,该设备于202 |
国外
|
|
NIKON NSR S204B分步投影光刻机 |
NIKON |
NSR-S204B |
2000 |
设备完整不缺件,带硬盘及镜头数据,设备目前在亚洲; |
国外
|
|
NIKON NSR SF120光刻机 |
NIKON |
NSR-SF120 |
- |
6"设备完整不缺件,已翻新好,设备在亚洲; |
国外
|
 |
NIKON NSR 2205i12D光刻机 |
NIKON |
NSR-2205i12D |
1997 |
8"设备完整不缺件,已翻新好,设备在亚洲; |
国外
|
 |
TEL TE8500刻蚀机 |
TEL |
TE-8500 |
- |
设备完整不缺件,在韩国; |
国外
|
 |
DISCO DGP8760+DFM2700减薄撕膜一体机 |
DISCO |
DGP8760+DFM2700 |
2009 |
设备完整不缺件; |
国内
|
 |
ULVAC NE-950 ICP干法刻蚀 |
ULVAC |
NE-950 ICP |
2010 |
设备在台湾,已接电测试完毕,ψ330mm tray,ICP单制程腔 |
国内
|
 |
ULVAC EI-5T蒸发台 |
ULVAC |
EI-5T |
2010 |
设备在台湾,已接电测试完毕,照片是未整新之前照片,有规格书; |
国内
|
|
CANON FPA-5500 IZA步进式光刻机 |
CANON |
FPA-5500 IZA |
- |
设备完整不缺件,原厂已拆机; |
国内
|
 |
SPEEDFAM 50B单面研磨抛光机 |
SPEEDFAM |
50B |
2014 |
设备完整不缺件,在台湾已拆机,原厂确认无问题; |
国内
|
 |
EVATEC RAD BPM3 PVD薄膜沉积设备 |
EVATEC |
RAD BPM3 |
2018 |
8",在线热机2台,支持3种target,目前靶材使用Si Nb; |
国内
|
 |
VEECO GMR-PVD薄膜生长设备 |
VEECO |
GMR-PVD |
- |
8",可装12个靶,有前处理腔,设备完整不缺件; |
国内
|
 |
VEECO IBD/IBE离子束沉积设备 |
VEECO |
IBD/IBE |
- |
8",可装6个靶,设备完整不缺件; |
国内
|
 |
STS RIE反应离子刻蚀机 |
STS |
RIE |
- |
8"设备完整不缺件; |
国内
|
 |
SPTS MUC-21深硅刻蚀机 |
SPTS |
MUC-21 |
- |
6",Bosch工艺,ESD chuck,设备完整不缺件; |
国内
|
 |
SPTS OMEGA i2L深硅刻蚀机 |
SPTS |
OMEGA i2L |
- |
6",8",Bosch工艺,ESD chuck,设备完整不缺件; |
已售出
|
 |
ASML AT850B光刻机 |
ASML |
AT-850B |
2002 |
12",2024/5台湾拆机,无缺件,有HDD,Dual Chuc |
国内
|
|
KOKUSAI DJ-802V立式扩散炉 |
KOKUSAI |
DJ-802V |
- |
设备完整不缺件; |
国外
|
 |
DNS LA-820快速退火炉 |
DNS |
LA-820 |
2002 |
设备完整不缺件,已拆机; |
国内
|
 |
KOKUSAI DJ-802V立式扩散炉 |
KOKUSAI |
DJ-802V |
- |
设备完整不缺件; |
国内
|
 |
DISCO DFG8560研削机 |
DISCO |
DFG8560 |
2005 |
12"在线热机,设备完整不缺件; |
国内
|
 |
DISCO DFD6362划片机 |
DISCO |
DFD6362 |
2022.10 |
2022年新机未使用过,设备完整不缺件; |
国内
|
|
DISCO DFD6341划片机 |
DISCO |
DFD6341 |
2022 |
2022年新机未使用过,设备完整不缺件; |
国内
|
 |
TEL ACT8(2C2D)涂胶显影机 |
TEL |
ACT8 |
2001 |
设备完整不缺件,韩国3台现货; |
国外
|
 |
NIKON NSR 2205 G8光刻机 |
NIKON |
NSR-2205G8 |
1991 |
6"设备完整不缺件,在线热机在亚洲; |
国外
|
 |
SHINKAINA SPA-400固晶机 |
SHINKAINA |
SPA-400 |
2019 |
设备完整不缺件,有4台现货在国内; |
国内
|
 |
GENTECH GAS SAFE GT3双钢气柜 |
GENTECH |
GAS SAFE GT3 |
- |
设备完整不缺件,有19台; |
国内
|
 |
NIKON NSR 2205i11D光刻机 |
NIKON |
NSR-2205i11D |
1996.02 |
设备完整不缺件,在韩国; |
国外
|
 |
TEL MARK8涂胶显影机 |
TEL |
MARK8 |
1996.08 |
设备完整不缺件,只有一个工艺腔,在日本; |
国外
|
 |
DISCO DAD3350晶圆切割机 |
DISCO |
DAD3350 |
2016 |
设备完整不缺件,2024.04下线,目前在日本; |
国外
|
|
AMAT P5000 PECVD刻蚀机 |
AMAT |
P5000 |
1996 |
6" 2腔:SiO2+Si3N4,设备在美国已翻新,随时发回国内; |
国外
|
|
AMAT P5000 DRY ETCH刻蚀机 |
AMAT |
P5000 |
1999 |
6" 2腔: Chamber A =MxP Poly(or Met |
国外
|
|
ABM/6/350/DCCD光刻机 |
ABM |
ABM/6/350/DCCD |
- |
2"-6" |
国内
|
 |
ANELVA I-1060 SVII PVD溅射台 |
ANELVA |
I-1060 SVII |
1995.08 |
6"设备完整不缺件; |
国内
|
 |
ANELVA ILC-1051 PVD溅射台 |
ANELVA |
ILC-1051 |
2001 |
6"设备完整不缺件150mm; |
国内
|
|
ANELVA ILC-1051 PVD溅射台 |
ANELVA |
ILC-1051 |
1990.9 |
6" |
国内
|
|
ANELVA ILC-1051 PVD溅射台 |
ANELVA |
ILC-1051 |
- |
6" |
国内
|
|
ANELVA ILC-1051 PVD溅射台 |
ANELVA |
ILC-1051 |
- |
6" |
国内
|
|
CELLO ohmiker-80B PVD蒸发台 |
CELLO |
ohmiker-80B |
2016 |
4/5/6"4寸60片 |
国内
|
|
CELLO ohmiker-80B PVD蒸发台 |
CELLO |
ohmiker-80B |
2014 |
4/5/6"4寸60片 |
国内
|
 |
CANON MPA-600FA投影式光刻机 |
CANON |
MPA-600FA |
2006 |
4"5"6"设备完整不缺件100-200mm; |
国内
|
|
CANON MPA-500FA投影式光刻机 |
CANON |
MPA-500FA |
- |
2"3"4"5"设备完整不缺件; |
国外
|
|
CANON MAS-801HR低损伤干法去胶机 |
CANON |
MAS-801HR |
- |
6" |
国内
|
|
CANON VIR-630外观检查仪 |
CANON |
VIR-630 |
1989 |
6" |
国内
|
|
DNS SC-W80A SOG涂胶显影机 |
DNS |
SC-W80A |
1999/2015升 |
6/8"2C+CURE FUNANCE |
国内
|
|
DNS SK-200W-AVP涂胶显影机 |
DNS |
SK-200W-AVP |
1998 |
6/8"2C2D; |
国内
|
|
DNS SK-200W-AVP涂胶显影机 |
DNS |
SK-200W-AVP |
2009.09 |
6/8"2D备件机; |
国内
|
|
DNS SKW-629-BV涂胶显影机 |
DNS |
SKW-629-BV |
- |
5/6"1C1D |
国内
|
|
DNS SCW-636-BV涂胶机 |
DNS |
SCW-636-BV |
1990 |
5/6"双轨/PI胶 |
国内
|
|
DNS SP-W813-AS单片旋转腐蚀机 |
DNS |
SP-W813-AS |
1995.05 |
6"CMP后洗净 |
国内
|
 |
DNS LA-820快速退火炉 |
DNS |
LA-820 |
- |
6" |
国内
|
|
DNS SSW-629-B刷片机 |
DNS |
SSW-629-B |
1991 |
6"二流体+超音波 |
国内
|
|
DNS STM-603-PLS膜厚仪 |
DNS |
STM-603-PLS |
- |
4/5/6" |
国内
|
|
EBARA F-REX300 CMP化学机械研磨 |
EBARA |
F-REX300 CMP |
2004.09 |
12"设备完整不缺件,2014年原厂翻新改造后旭硝子研发用; |
已售出
|
|
FSM 128NT薄膜应力测试仪 |
FSM |
FSM 128NT |
2021.10 |
2-8" 24.04下线 |
已售出
|
|
HITACHI S-5200扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-5200 |
2002.06 |
设备完整不缺件,如果要安装调试加40W;
Cold FE-Tip |
国内
|
|
HITACHI S-4500扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-4500 |
1996 |
EDX |
国内
|
 |
HITACHI S-6100扫描电镜 |
HITACHI |
S-6100 |
1994 |
6" |
国内
|
|
HITACHI LS-6000激光表面检查装置 |
HITACHI |
LS-6000 |
1992.2 |
6" |
国内
|
|
HITACHI PD-2000光刻版颗粒检查装置 |
HITACHI |
PD-2000 |
1988.12 |
6" |
国内
|
|
HITACHI IS-2000 Wafer异物检查装置 |
HITACHI |
IS-2000 |
1990.8 |
6" |
国内
|
|
JEOL JDX-3531 X射线衍射仪XRD |
JEOL |
JDX-3531 |
2002 |
- |
国内
|
|
KEYENCE VU-5500数字显微镜 |
KEYENCE |
VU-5500 |
- |
4/5/6" |
国内
|
|
LAM TE490干法刻蚀机 |
LAM |
TE490 |
- |
6" |
国内
|
|
LAM TE490干法刻蚀机 |
LAM |
TE490 |
- |
6" |
国内
|
 |
NIKON NSR-1755G7A光刻机 |
NIKON |
NSR-1755G7A |
1996 |
6"24.04下线 |
国内
|
|
NIKON NSR-1505i6光刻机 |
NIKON |
NSR-1505i6 |
- |
6" |
国内
|
|
NIKON X6PDF-UBD显微镜 |
NIKON |
X6PDF-UBD |
- |
4/5/6" |
国内
|
|
OLYMPUS BH3-MJL显微镜 |
OLYMPUS奥林巴斯 |
BH3-MJL |
2002 |
4/5/6" |
国内
|
|
OLYMPUS MX50显微镜 |
OLYMPUS奥林巴斯 |
MX50 |
- |
4/5/6/8" |
国内
|
|
PHOTAL FE-3000外观检查仪 |
PHOTAL |
FE-3000 |
- |
6" |
国内
|
|
PVA Tepla 300 AL PC干法去胶机 |
PVA Tepla |
300 AL PC |
2003 |
4/5/6"50片/微波 |
国内
|
|
PVA Tepla 300 AL PC干法去胶机 |
PVA Tepla |
300 AL PC |
2003 |
4/5/6"50片/微波 |
国内
|
|
PVA Tepla 300 AL PC干法去胶机 |
PVA Tepla |
300 AL PC |
2003 |
4/5/6"50片/微波 |
国内
|
|
PVA Tepla 300 AL PC干法去胶机 |
PVA Tepla |
300 AL PC |
2003 |
4/5/6"50片/微波 |
国内
|
|
PVA Tepla 300 AL PC干法去胶机 |
PVA Tepla |
300 AL PC |
2003 |
4/5/6"50片/微波 |
国内
|
|
Rudolph NMR3短波长自动椭偏仪 |
Rudolph |
NMR3 |
1997.05 |
设备完整不缺件; |
国内
|
 |
KARL SUSS MA200e光刻机 |
KARL SUSS |
MA200e |
2006 |
4"-8" |
国内
|
 |
SOPRA Gonio bench分光椭偏仪 |
SOPRA |
Gonio bench |
2000.02 |
6"设备完整不缺件,turnkey加1.2万美元; |
国内
|
 |
LAM SEZ FS 103-6单片旋转腐蚀机 |
LAM泛林 |
FS 103-6 |
1996 |
6" |
国内
|
 |
LAM SEZ FM101-6-B单片旋转腐蚀机 |
LAM泛林 |
FM101-6-B |
1998 |
4-6" |
国内
|
|
TEL MARK-Vz涂胶显影机 |
TEL |
MARK-Vz |
1997 |
4/5/6"1C2D |
国内
|
|
TEL MARK-V涂胶显影机 |
TEL |
MARK-V |
1993 |
4/5/6"1C1D |
国内
|
|
TEL TE8500P ATC干法刻蚀机 |
TEL |
TE-8500P ATC |
1995.11 |
6"RIE SiO2 Etcher |
国内
|
|
TEL TE8500P ATC干法刻蚀机 |
TEL |
TE-8500P ATC |
1995.11 |
6"RIE SiO2 Etcher |
国内
|
|
TEL TE8500P干法刻蚀机 |
TEL |
TE-8500P |
- |
6"RIE SiO2 Etcher |
国内
|
|
TEL TE8500P ATC干法刻蚀机 |
TEL |
TE-8500P ATC |
1993.03 |
6"RIE SiO2 Etcher |
国内
|
|
USHIO UMA-802-HC55MT固胶机 |
USHIO |
UMA-802-HC55MT |
2005 |
6" |
国内
|
|
ULVAC 304真空检漏仪 |
ULVAC |
304 |
2000.04 |
- |
国内
|
|
TOK TCA-2600低温干法去胶机 |
TOK |
TCA-2600 |
1990.11 |
6"设备完整不缺件; |
国内
|
 |
DISCO DAG810研磨机 |
DISCO |
DAG810 |
2003 |
设备完整不缺件; |
国内
|
 |
DISCO DFG8560研削机 |
DISCO |
DFG8560 |
2016 |
12"设备完整不缺件; |
国内
|
|
Aixtron Aix 2600G3 MOCVD化学气相沉积设备 |
Aixtron |
Aix 2600G3 TA/TE/TM |
2001/02/07 |
设备完整不缺件,目前台湾仓库有3台现货(TA 2001+TE 20 |
国内
|
 |
Aixtron Aix 2800G4 TM MOCVD设备 |
Aixtron |
Aix 2800G4 TM |
2017 |
设备完整不缺件(无HDD),年初下线; |
国内
|
 |
JDSU FV-200检测仪 |
JDSU |
FV-200 |
- |
设备完整不缺件,含税; |
国内
|
 |
Nordson 7012332点胶机 |
Nordson |
7012332 |
- |
设备完整不缺件,含税; |
国内
|
 |
Kulicke & Soffa 4523-AD引线键合机 |
Kulicke & Soffa |
4523-AD |
- |
设备完整不缺件,含税; |
国内
|
 |
MMM LSIK-B2V VC222烤箱 |
MMM |
LSIK-B2V VC222 |
- |
设备完整不缺件,含税有2台; |
国内
|
 |
Palomar 3500芯片键合机 |
Palomar |
3500 |
- |
设备完整不缺件,含税; |
国内
|
 |
Lumentum MC ROSA耦合 |
Lumentum |
MC ROSA |
- |
设备完整不缺件,含税; |
国内
|
 |
Benchmark SM8000封盖 |
Benchmark |
SM8000 |
- |
设备完整不缺件,含税; |
国内
|
|
ASML AT1100光刻机 |
ASML |
AT1100 |
2002 |
设备完整不缺件,已翻新在台湾;
AT:1100采用193nm |
国内
|
 |
DISCO DFG850研磨机 |
DISCO |
DFG850 |
2003 |
8"全自动设备完整不缺件; |
国内
|
 |
DNS SU3100晶圆清洗设备 |
DNS |
SU3100 |
2008 |
设备完整不缺件,晶圆300毫米; |
国外
|
 |
DNS SU3200晶圆喷雾清洁器 |
DNS |
SU3200 |
2014 |
12"设备在亚洲,系统已完成,但没有硬盘,原产于三星电子;
工艺 |
国外
|
|
DNS SU3200晶圆喷雾清洁器 |
DNS |
SU3200 |
2014 |
12"设备在亚洲,系统已完成,但没有硬盘,原产于三星电子;
工艺 |
国外
|
 |
TEL MARK8涂胶显影机 |
TEL |
MARK8 |
1998 |
设备完整不缺件,已拆机在日本; |
国外
|
 |
NIKON NSR S204B分步投影光刻机 |
NIKON |
NSR-S204B |
2000 |
韩国在线热机,7.25号下线; |
国外
|
 |
DISCO DFL7161激光开槽机 |
DISCO |
DFL7161 |
2022.10 |
设备完整不缺件,基本没怎么用过的准新机,含税价,10月底出售; |
国外
|
 |
TEL UnityIIe-855II刻蚀机 |
TEL |
UnityIIe-855II |
1996 |
设备完整不缺件,在日本仓库; |
国外
|
 |
TEL MARK7涂胶显影机 |
TEL |
MARK7 |
2000 |
设备完整不缺件,在线热机在日本(1C 3D WEE); |
国外
|
 |
Rudolph CV9812晶圆载具检测 |
Rudolph |
CV9812 |
- |
在线热机在亚洲,设备完整不缺件; |
国外
|
 |
HITACHI S-8840扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-8840 |
1999 |
设备完整不缺件,已翻新好; |
国外
|
 |
HITACHI S-9380扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-9380 |
2007 |
设备完整不缺件; |
国外
|
 |
DISCO DAD321划片机 |
DISCO |
DAD321 |
2004 |
在线热机在台湾,有11台现货打包卖,其中两台是2006; |
国内
|
 |
NIKON NSR 1755i7A光刻机 |
NIKON |
NSR-1755i7A |
1989 |
设备完整不缺件,含安装调试; |
国内
|
 |
NIKON NSR S204B分步投影光刻机 |
NIKON |
NSR-S204B |
2001 |
国内在线热机,完全初始化状态,激光器cymer; |
国内
|
 |
AMAT mirra MESA CMP化学机械抛光设备 |
AMAT |
mirra MESA CMP |
2002 |
设备完整不缺件,已翻新在国内; |
国外
|
|
EBARA F-REX300 CMP化学机械研磨 |
EBARA |
F-REX300 CMP |
2004.09 |
12"设备完整不缺件,2014年原厂翻新改造后旭硝子研发用; |
已售出
|
 |
LAM 2300 Exelan Flex蚀刻机 |
LAM |
2300 Exelan Flex |
- |
4室Ath-1600涡轮增压+交流箱; |
国内
|
 |
AMAT Endura II气相沉积设备 |
AMAT |
Endura II |
- |
有2台现货; |
国内
|
 |
AMAT Endura CL PVD气相沉积设备 |
AMAT |
Endura CL |
1994 |
1台主机+IMP舱室+2个舱室+1台EFEM; |
国内
|
 |
AMAT CENTRIS MESA ETCH沉积蚀刻 |
AMAT |
CENTRIS MESA ETCH |
- |
有2台现货(1个主机+3个双室,射频机器人涡轮配件齐); |
国内
|
 |
DISCO DFL7340全自动激光切割机 |
DISCO |
DFL7340 |
2011 |
在线热机,设备完整不缺件,还有2台现货; |
国内
|
 |
ULVAC EI-5蒸发台 |
ULVAC |
EI-5 |
2007 |
设备完整不缺件,在线热机可做验证片; |
国内
|
 |
CANON BESTEM-D321 Plus固晶机 |
CANON |
BESTEM-D321 Plus |
2016 |
设备完整不缺件,有3台现货在台湾,不拆硬盘; |
国内
|
 |
DISCO DGP8761研磨机+DFM2800贴膜机 |
DISCO |
DGP8761+DFM2800 |
2012 |
设备完整不缺件,在韩国; |
国外
|
 |
LAM C2 Triple SPEED气相沉积 |
LAM |
C2 Triple SPEED |
- |
设备完整不缺件; |
国外
|
 |
DISCO DFD6361划片机 |
DISCO |
DFD6361 |
2012 |
设备完整不缺件; |
国内
|
 |
ADT 7122切割机 |
ADT(K&S) |
7122 |
2018 |
设备完整不缺件,99成新;2"直流无刷,1.2 kW,前置挂载,空 |
国内
|
 |
DISCO DAD3350晶圆切割机 |
DISCO |
DAD3350 |
2021 |
设备完整不缺件,有2台; |
国外
|
|
HITACHI S-8820扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-8820 |
- |
设备完整不缺件; |
国外
|
 |
HITACHI S-4100扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-4100 |
1992 |
设备完整不缺件,设备在日本刚下线; |
国外
|
 |
EMCRNFTS G-1000扫描电镜 |
EMCRNFTS |
G-1000 |
2014 |
设备完整不缺件; |
国内
|
 |
AG Heatpulse 8108快速退火炉 |
AG |
Heatpulse 8108 |
2015 |
8"设备完整不缺件,设备已翻新好,报价为硅基价,化合物的加2万美元 |
国外
|
 |
DISCO DFL7361激光划片机 |
DISCO |
DFL7361 |
2017/19 |
设备完整不缺件,设备目前在亚洲,有2台现货,含到中国价; |
已售出
|
 |
HITACHI CG6300高解析度FEB测量装置 |
HITACHI |
CG6300 |
2017 |
设备完整不缺件; |
国外
|
 |
DISCO DFL7020划片机 |
DISCO |
DFL7020 |
- |
设备完整不缺件,有3台现货; |
国内
|
 |
AMAT Endura II PVD 9个腔室气相沉积设备 |
AMAT |
Endura II PVD 9 |
2007 |
12"设备完整不缺件,目前设备在韩国仓库;
AL 2室、TTN |
国外
|
 |
AMAT Endura II PVD 8个腔室气相沉积设备 |
AMAT |
Endura II PVD 8 |
2007 |
12"设备完整不缺件,目前设备在韩国仓库;
SIP 1室、ALP |
国外
|
|
ACCRETECH UF3000EX探针台 |
ACCRETECH |
UF3000EX |
2007 |
设备完整不缺件,带冷冻器探测器,设备目前在亚洲;ARTS-W3冷冻 |
国外
|
 |
DISCO DFL7340全自动激光切割机 |
DISCO |
DFL7340 |
2010 |
设备完整不缺件,3台在日本,M-Code:782200; |
国外
|
 |
TEL ACT8(2C2D)涂胶显影机 |
TEL |
ACT8 |
2003 |
设备完整不缺件; |
国外
|
 |
DISCO DFD6361切割机 |
DISCO |
DFD6361 |
2010 |
设备完整不缺件,在日本; |
国外
|
 |
DISCO DFL7020划片机 |
DISCO |
DFL7020 |
2010 |
设备完整不缺件,有2台现货; |
国内
|
 |
DISCO DFL7340全自动激光切割机 |
DISCO |
DFL7340 |
2011 |
设备完整不缺件,有20台现货; |
国内
|
 |
DISCO DAD322晶圆切割机 |
DISCO |
DAD322 |
2009/11 |
设备完整不缺件,有5台现货; |
国内
|
 |
DISCO DFL7340全自动激光切割机 |
DISCO |
DFL7340 |
2011 |
设备完整不缺件,有2台现货,装的大族系统(可修改)M-Code:7 |
国内
|
 |
DISCO DFD6360划片机 |
DISCO |
DFD6360 |
2004 |
设备完整不缺件,有2台现货; |
国外
|
 |
ASM PLASMA III PECVD等离子化学气相沉积 |
ASM |
PLASMA III |
- |
设备完整不缺件,在线热机可做验证片; |
国内
|
 |
TEL P-12XL探针台 |
TEL |
P-12XL |
2005 |
12"设备完整不缺件,有4台+2台chiller现货在台湾,不必打 |
国内
|
 |
HITACHI DB-730AC固晶机 |
HITACHI |
DB-730AC |
- |
设备完整不缺件,有4台现货在台湾,不拆硬盘; |
国内
|
 |
ASML XT1250D光刻机 |
ASML |
XT1250D |
- |
设备完整不缺件; |
国外
|
|
DISCO DAG810研磨机 |
DISCO |
DAG810 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
DISCO DFG841研磨机 |
DISCO |
DFG841 |
1997 |
设备完整不缺件,有现货2台; |
国内
|
|
DISCO DFG850研磨机 |
DISCO |
DFG850 |
- |
设备完整不缺件,已翻新好的热机,有现货3台; |
国内
|
 |
DISCO DFG8540研磨机 |
DISCO |
DFG8540 |
2019 |
3.1号刚下线,含安装调试+含3个月售后,有现货2台(不安装减20 |
已售出
|
 |
DISCO DFD641划片机 |
DISCO |
DFD641 |
1999 |
设备完整不缺件,有现货2台; |
国内
|
|
DISCO DFD681划片机 |
DISCO |
DFD681 |
- |
设备完整不缺件,有现货2台; |
国内
|
 |
HITACHI S-8840扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-8840 |
1997/98 |
设备完整不缺件,有现货2台; |
国内
|
|
HITACHI S-6280H扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-6280H |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
HITACHI SPC-500B监护仪 |
HITACHI |
SPC-500B |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
HITACHI E0-216L1S烤箱 |
HITACHI |
E0-216L1S |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
IMV i220/SA1M振动试验台 |
IMV |
i220/SA1M |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
KLA P15轮廓仪 |
KLA |
P15 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
 |
KLA RS55方阻测试仪 |
KLA |
RS55 |
- |
设备完整不缺件,有现货2台(有台缺件,打包卖+20W); |
国内
|
 |
KLA Tencor SFS6420晶圆检测 |
KLA |
SFS6420 |
1995 |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国外
|
 |
KLA 2132缺陷检测 |
KLA |
2132 |
1996 |
设备完整不缺件,安装调试加70W左右,备件成本太高; |
国内
|
 |
KLA 2135缺陷检测 |
KLA |
2135 |
1998 |
在线热机,设备完整不缺件; |
国内
|
|
KOSAKA SE-30D表面粗糙度测量 |
KOSAKA |
SE-30D |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
KYOSHIN 6570MAH烘箱 |
KYOSHIN |
6570MAH |
- |
设备完整不缺件,有现货2台; |
国内
|
|
LINTEC RAD-3500F8/F12晶圆贴合机 |
LINTEC |
RAD-3500F8/F12 |
- |
设备完整不缺件,有现货2台; |
国内
|
|
LINTEC RAD-2500F/8晶圆贴合机 |
LINTEC |
RAD-2500F/8 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
LINTEC RAD-2500m/8晶圆贴合机 |
LINTEC |
RAD-2500m/8 |
- |
设备完整不缺件,有现货4台; |
国内
|
|
LINTEC RAD-2500m/12IPC晶圆贴合机 |
LINTEC |
RAD-2500m/12IPC |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
LINTEC RAD-3000F/8晶圆贴合机 |
LINTEC |
RAD-3000F/8 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
LINTEC RAD-3010F/12晶圆贴合机 |
LINTEC |
RAD-3010F/12 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
LINTEC RAD2000F/12晶圆贴合机 |
LINTEC |
RAD2000F/12 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
LINTEC RAD2000F/8晶圆贴合机 |
LINTEC |
RAD2000F/8 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
MIT OPTIMUS M2 芯片贴装设备 |
MIT |
OPTIMUS M2 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
Nanometrics M3000膜厚仪 |
Nanometrics |
M3000 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
NIITO PL55TRM-LF胶带 |
NIITO |
PL55TRM-LF |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
 |
NIKON L200显微镜 |
NIKON |
L200 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台带电竞平台; |
国内
|
 |
NIKON L300显微镜 |
NIKON |
L300 |
- |
设备完整不缺件,有现货3台; |
国内
|
 |
NITTO DR8500 II划片机 |
NITTO |
DR-8500 II |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
NITTO DENKO UA8303紫外线照射 |
NITTO DENKO |
UA8303 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
OLYMPUS MX-50A-F显微镜 |
OLYMPUS奥林巴斯 |
MX-50A-F |
- |
设备完整不缺件,有现货2台; |
国内
|
|
OLYMPUS BH2-UMA显微镜 |
OLYMPUS奥林巴斯 |
BH2-UMA |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
PANASONIC FCB3芯片键合机 |
PANASONIC |
FCB3 |
- |
设备完整不缺件,有现货2台; |
国内
|
|
RION KC-20尘埃粒子计数器 |
RION |
KC-20 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
RION KM-27尘埃粒子计数器 |
RION |
KM-27 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
SATO SR412+CT-2温湿度记录仪 |
SATO |
SR412+CT-2 |
- |
设备完整不缺件,有现货4台; |
国内
|
 |
SHIBUYA SBM351植球机 |
SHIBUYA |
SBM351 |
2006 |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
Shimadzu AEU-210分析天平 |
Shimadzu |
AEU-210 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
SMS TSM 3000W-RCZ粗糙度测量仪 |
SMS |
TSM 3000W-RCZ |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
TABAI PS-232烤箱 |
TABAI |
PS-232 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
TAKATORI ATM1100E贴膜机 |
TAKATORI日本高鸟 |
ATM1100E |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
TAKATORI ATM-8200测试分选机 |
TAKATORI日本高鸟 |
ATM-8200 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
TAKATORI DM-800A/800B划片机 |
TAKATORI日本高鸟 |
DM-800A/800B |
- |
设备完整不缺件,有现货2台; |
国内
|
|
TAKATORI ATRM-2100D撕膜机 |
TAKATORI日本高鸟 |
ATRM2100D |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
Taylor Hobson CCI MP-HS光学轮廓仪 |
Taylor Hobson |
CCI MP-HS |
- |
设备完整不缺件,非接触式光学轮廓仪,有现货1台; |
国内
|
|
TECHWING TW250HT Handler分选机 |
TECHWING |
TW250HT |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
TEL P-8XL探针台 |
TEL |
P-8XL |
1999 |
设备完整不缺件,有现货23台; |
国内
|
|
TEL P-8探针台 |
TEL |
P-8 |
- |
设备完整不缺件,有现货17台; |
国内
|
|
TEL P-12XLN/xlm探针台 |
TEL |
P-12XLN |
2005 |
设备完整不缺件,有现货5台(翻新的加1万美元); |
国内
|
|
ADVANCED M158监测仪 |
ADVANCED |
M158 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
 |
TSK HRG200X研磨机 |
TSK |
HRG200X |
2018 |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
TSK A-WD-300T切割机 |
TSK |
A-WD-300T |
- |
设备完整不缺件,有现货2台; |
国内
|
|
TSK UF200探针台 |
TSK |
UF200 |
- |
设备完整不缺件,有现货4台; |
国内
|
|
TSK UF200SA探针台 |
TSK |
UF200SA |
2005 |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
TEL A-PM-90A探针台 |
TEL |
A-PM-90A |
- |
设备完整不缺件,有现货6台; |
国内
|
|
YAMADA SH041 Sorter分选机 |
YAMADA |
SH041 |
- |
设备完整不缺件,有现货7台; |
国内
|
|
YASUNAGA LI2000检测设备 |
YASUNAGA |
LI2000 |
- |
设备完整不缺件,有现货5台; |
国内
|
|
YUTAKA PTE IV301P真空密封机 |
YUTAKA PTE |
IV301P |
- |
设备完整不缺件,有现货3台; |
国内
|
|
ZABRA 140Xi4 TM工业型条码打印机 |
ZABRA |
140Xi4 TM |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
CSUN MOL-2DS工业烘干箱 |
CSUN台湾志圣 |
MOL-2DS |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
AMAT P5000刻蚀机 |
AMAT |
P5000 |
1996 |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
AR BROWN SM-105-MP冲击试验机 |
AR BROWN |
SM-105-MP |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
ASYMTEK X1020点胶机 |
ASYMTEK |
X1020 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
ATI WIND AWIS-1200晶圆检测系统 |
ATI |
WIND AWIS-1200 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
BEST BPA-800-SS探针台 |
BEST |
BPA-800-SS |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
CANON CAP-3500晶片分选机 |
CANON |
CAP-3500 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
Dionex DX-320离子色谱系统 |
Dionex |
DX-320 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
|
AMAT Centura 5200刻蚀机 |
AMAT |
Centura 5200 |
- |
设备完整不缺件,8英寸3腔表观系统; |
国外
|
 |
HITACHI S-5000扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-5000 |
1999 |
设备完整不缺件; |
国外
|
 |
ACCRETECH UF3000EXE探针台 |
ACCRETECH |
UF3000EXE |
2011/17 |
多台在线热机在韩国,设备完整不缺件,含拆机(没有低温);
尺寸: |
国外
|
 |
HITACHI S-9260扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-9260 |
2009 |
设备完整不缺件,由hitachi原厂deinstall; |
国外
|
 |
DISCO DFL7160激光切割机 |
DISCO |
DFL7160 |
2009 |
设备完整不缺件; |
国外
|
 |
HITACHI S-8840扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-8840 |
1999 |
设备完整不缺件,已翻新好; |
国内
|
 |
DISCO DFG8540研磨机 |
DISCO |
DFG8540 |
2014 |
在线热机,设备完整不缺件; |
国内
|
 |
LAM 2300 Exelan Flex45 ICP蚀刻机 |
LAM |
2300 Exelan Flex45 |
- |
设备型号：2300 Exelan Flex 45
类型：ICP蚀 |
国外
|
|
NIKON NSR SF140光刻机 |
NIKON |
NSR-SF140 |
- |
设备完整不缺件,原来的晶圆是12英寸,现在修改后用ATP数据修改为 |
国外
|
|
NIKON NSR SF130光刻机 |
NIKON |
NSR-SF130 |
- |
在洁净室翻新中,完全初始化条件,在拆卸之前,它处于工作状态,目前设 |
国外
|
 |
CANON FPA-2500i3步进式光刻机 |
CANON |
FPA-2500i3 |
1994 |
设备完整不缺件,含安装调试; |
国内
|
 |
KARL SUSS MA6光刻机(单面) |
KARL SUSS |
MA6 |
2005 |
设备完整不缺件,还没拆箱; |
国内
|
 |
ACCRETECH TSK UF3000探针台 |
ACCRETECH |
UF3000 |
- |
在线热机,完整不缺件,设备在美国; |
国外
|
 |
ACCRETECH TSK UF2000探针台 |
ACCRETECH |
UF2000 |
- |
在线热机,完整不缺件,设备在美国; |
国外
|
 |
TEL P-8探针台 |
TEL |
P-8 |
- |
- |
国外
|
 |
TEL P-8XL探针台 |
TEL |
P-8XL |
- |
- |
国外
|
 |
TERADYNE IP750EX测试系统 |
TERADYNE |
IP750EX |
2012 |
- |
国外
|
 |
DISCO DFG850研磨机 |
DISCO |
DFG850 |
2000 |
设备完整不缺件; |
国外
|
|
SAMCO RlE-200C蚀刻机 |
SAMCO |
RlE-200C |
- |
全新未使用设备,因为计划终止未开箱使用; |
国外
|
|
TAKATORI AMR-2200G撕膜机 |
TAKATORI日本高鸟 |
AMR-2200G |
2012 |
- |
国外
|
 |
OKAMOTO SPP-600S研磨机 |
OKAMOTO |
SPP-600S |
- |
- |
国外
|
 |
HITACHI RS-5500扫描电子显微镜 |
HITACHI |
RS-5500 |
2005 |
- |
国内
|
|
KLA Tencor CS10 R表面分析仪 |
KLA |
CS10 R |
- |
- |
国外
|
|
KLA Tencor SFS6420晶圆检测 |
KLA |
SFS6420 |
2007 |
- |
国外
|
 |
KLA Tencor 8720芯片缺陷检测系统 |
KLA |
Tencor-8720 |
2017 |
设备完整不缺件,在线热机在亚洲; |
国外
|
 |
LAM RAINBOW 4520 XLE刻蚀机 |
LAM |
4520XL |
2014 |
设备完整不缺件; |
国内
|
 |
HITACHI S4800 II扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S4800 II |
2005 |
设备完整不缺件,在韩国; |
国外
|
 |
CANON FPA-3000i5步进式光刻机 |
CANON |
FPA-3000i5 |
- |
8"设备完整不缺件; |
国外
|
 |
CANON FPA-3000i4步进式光刻机 |
CANON |
FPA-3000i4 |
1994 |
拆卸前处于工作状态,设备在亚洲.由于HDD已从两个工具中移除,因此 |
国外
|
|
KLA Tencor 8620晶圆检测系统 |
KLA |
8620 |
- |
- |
国外
|
 |
DISCO DFG8540研磨机 |
DISCO |
DFG8540 |
2013 |
在线热机,设备完整不缺件; |
国内
|
 |
KLA SURFSCAN SFS6200晶圆检测系统 |
KLA |
SFS6200 |
1994 |
8"设备完整不缺件,已翻新好在美国;
0.1 micron De |
国外
|
 |
NIKON NSR 2205i14E2光刻机 |
NIKON |
NSR-2205i14E2 |
- |
设备完整不缺件,在亚洲; |
国外
|
 |
NIKON NSR 2205i14E2光刻机 |
NIKON |
NSR-2205i14E2 |
- |
设备已翻新,在韩国; |
国外
|
 |
NITTO HSA840贴膜机 |
NITTO |
HSA840 |
2000 |
台湾仓库; |
国内
|
 |
NITTO DSA840撕膜机 |
NITTO |
DSA840 |
2000 |
台湾仓库; |
国内
|
 |
Kulicke & Soffa焊线机 |
Kulicke |
Soffa |
- |
有70台; |
国内
|
|
CANON FPA-2500i2步进式光刻机 |
CANON |
FPA-2500i2 |
- |
- |
国外
|
|
HITACHI S-3400N变压扫描电镜 |
HITACHI |
S-3400N |
- |
- |
国外
|
|
DISCO DFD6362划片机 |
DISCO |
DFD6362 |
- |
有16台,可单台销售; |
国外
|
 |
DISCO DGP8761研磨机 |
DISCO |
DGP8761 |
2021 |
设备完整不缺件; |
国内
|
 |
DISCO DAD3350晶圆切割机 |
DISCO |
DAD3350 |
2011 |
设备完整不缺件; |
国内
|
 |
HITACHI S-8840扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-8840 |
1999 |
在线热机,已翻新好; |
国内
|
|
HITACHI S-8820扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-8820 |
- |
6"设备完整不缺件; |
国内
|
 |
HITACHI SU8020扫描电子显微镜 |
HITACHI |
SU8020 |
2011 |
设备完整不缺件,国内在线热机; |
已售出
|
 |
STS Multiple ICP感应耦合等离子刻蚀机 |
STS |
Multiple ICP |
2002 |
- |
国外
|
 |
STS Multiple ICP感应耦合等离子刻蚀机 |
STS |
Multiple ICP |
2000 |
- |
国外
|
|
DISCO DFL7020划片机 |
DISCO |
DFL7020 |
- |
- |
国外
|
|
NIKON NSR 207D光刻机 |
NIKON |
NSR-207D |
2003 |
在线热机SN8632030; |
国外
|
 |
TEL NT333扩散炉 |
TEL |
NT333 |
2018 |
设备完整不缺件,有2套; |
国内
|
 |
DISCO DFD6340全自动切割机 |
DISCO |
DFD6340 |
- |
日本有10台; |
国外
|
 |
DISCO DFD6341划片机 |
DISCO |
DFD6341 |
- |
日本有10台; |
国外
|
 |
Aixtron Aix 2600G3 MOCVD化学气相沉积设备 |
Aixtron |
Aix 2600G3 |
2001 |
设备完整不缺件; |
国外
|
|
ACCRETECH TSK UF3000探针台 |
ACCRETECH |
UF3000 |
2016 |
初始化通过状态,有8台; |
国外
|
 |
SAMCO RIE NR-10等离子蚀刻 |
SAMCO |
RIE NR-10 |
2011 |
- |
国外
|
 |
Varian 180XP离子注入机 |
Varian |
180XP |
1990 |
- |
国内
|
 |
NIKON OPTISTATION 3200晶圆检测 |
NIKON |
OPTISTATION-3200 |
2022 |
有2台300mm; |
国外
|
|
NIKON NSR 4425i光刻机 |
NIKON |
NSR-4425i |
- |
已翻新; |
国外
|
 |
Ultratech 1500步进式光刻机 |
Ultratech |
1500 |
- |
6"已下线,12台在美国; |
国外
|
|
DISCO DAD3231半自动切割机 |
DISCO |
DAD3231 |
- |
- |
国外
|
 |
KLA Tencor 8720芯片缺陷检测系统 |
KLA |
Tencor-8720 |
2017 |
美国在线热机,用于4英寸和6英寸; |
国外
|
 |
DISCO DFL7340全自动激光切割机 |
DISCO |
DFL7340 |
2011 |
- |
国外
|
 |
KARL SUSS ACS200G3涂胶显影机 |
KARL SUSS |
ACS200G3 |
2017 |
第1台: 4xDeveloper
第2台: 2xDeve |
国外
|
 |
DISCO EAD6750全自动切割机 |
DISCO |
EAD6750 |
- |
设备完整不缺件; |
国内
|
 |
DISCO DFD6340全自动切割机 |
DISCO |
DFD6340 |
2004 |
设备完整不缺件,有2台现货(有台2003年); |
已售出
|
|
DISCO DFM2700晶圆贴片机 |
DISCO |
DFM2700 |
- |
- |
国内
|
|
DISCO DFG8540研磨机 |
DISCO |
DFG8540 |
- |
- |
国内
|
|
DISCO DAD3350晶圆切割机 |
DISCO |
DAD3350 |
- |
6"设备完整不缺件; |
国外
|
|
DISCO DAD322晶圆切割机 |
DISCO |
DAD322 |
- |
- |
国内
|
 |
ASML AT850C光刻机 |
ASML |
AT850C |
2004 |
8"-12"已拆卸在洁净室中,晶圆300mm,无HDD上海价;
|
国外
|
 |
KLA Surfscan SP1 TBI晶圆检测系统 |
KLA科磊 |
SP1-TBI |
2007 |
TBI翻新掩模和晶圆检测,300/200mm x 3个端口,设备在 |
国外
|
 |
KLA Surfscan SP2晶圆检测系统 |
KLA科磊 |
SP2 |
2001 |
设备完整不缺件,在线热机; |
国内
|
|
NIKON NSR 2205i10D光刻机 |
NIKON |
NSR-2205i10D |
- |
- |
国外
|
 |
DISCO DFL7340全自动激光切割机 |
DISCO |
DFL7340 |
2015 |
包含两个2019年的OKK OEX-800FDIII套装; |
国外
|
 |
DISCO DFD6362划片机 |
DISCO |
DFD6362 |
2016 |
有2台,可以单台出价; |
国外
|
 |
DISCO DFD6240划片机 |
DISCO |
DFD6240 |
2007 |
- |
国外
|
 |
MRC MK-IV PVD磁控溅射 |
MRC |
MK-IV PVD |
2001 |
台湾仓库中; |
国外
|
 |
AXCELIS GSD 200离子注入机 |
AXCELIS |
GSD-200 |
1995 |
160 KeV Configured: 200mm Upgrade |
已售出
|
|
LAM RAINBOW 4420等离子刻蚀机 |
LAM泛林 |
RAINBOW-4420 |
1994 |
设备完整不缺件,目前在亚洲;
ISO蚀刻
晶圆尺寸200 mm |
已售出
|
 |
CANON FPA-2500i3步进式光刻机 |
CANON |
FPA-2500i3 |
1994 |
美国在线热机2台,设备完整不缺件; |
国外
|
 |
CANON FPA-3000i4步进式光刻机 |
CANON |
FPA-3000i4 |
1998 |
美国线上热机,完整不缺件;
晶圆尺寸：6英寸
网格尺寸：5英寸 |
国外
|
 |
NIKON NSR 2205i12D光刻机 |
NIKON |
NSR-2205i12D |
1997 |
6"设备完整不缺件,目前在亚洲仓库; |
国外
|
|
NIKON NSR 2205i12D光刻机 |
NIKON |
NSR-2205i12D |
1999 |
6"设备完整不缺件,目前在亚洲仓库,翻新加10万美元; |
国外
|
 |
NIKON NSR 2205i11D光刻机 |
NIKON |
NSR-2205i11D |
- |
设备上电测试过,传片流程和电板部分都正常,支持现场验机; |
国内
|
 |
ASM AMICRA NANO固晶机 |
ASM |
NANO |
2021 |
设备完整不缺件; |
已售出
|
 |
KLA Tencor SFS6420晶圆检测 |
KLA科磊 |
SFS6420 |
1995 |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
 |
DISCO DFS8910表面平坦机 |
DISCO |
DFS8910 |
2017 |
设备完整不缺件,美国在线热机200mm; |
国外
|
 |
DISCO DFD6362划片机 |
DISCO |
DFD6362 |
2016 |
美国完整机; |
国外
|
 |
ACCRETECH UF3000EXE探针台 |
ACCRETECH东京精密 |
UF3000EXE |
2016 |
8-12"在线热机5台,设备在韩国(包拆机); |
国外
|
|
KLA Tencor UV-1280SE薄膜测量系统 |
KLA |
UV1280SE |
2001 |
用途：薄膜测量系统
型号：UV1280SE
出厂日期：2001 |
国外
|
 |
SUSS SB6E Bonder晶圆键合机 |
KARL SUSS |
SB6E |
2012 |
- |
已售出
|
|
KLA Surfscan SP1 TBI颗粒测量仪 |
KLA科磊 |
SP1-TBI |
- |
已翻新; |
国外
|
 |
LAM RAINBOW 4520XL干法刻蚀机 |
LAM泛林 |
4520XL |
2000 |
热机运行中,但风扇需要更换; |
国外
|
 |
DISCO DAD3350晶圆切割机 |
DISCO |
DAD3350 |
2007 |
线上热机,定位精度为.001毫米或1μm.
NCS,BBD,主轴 |
国外
|
 |
DISCO DFD6340全自动切割机 |
DISCO |
DFD6340 |
2008 |
在线热机,设备完整不缺件; |
国外
|
 |
TECHNOS TREX610TX缺陷测试仪 |
TECHNOS |
TREX610TX |
2007 |
- |
国内
|
 |
NIKON NSR 2005i8A光刻机 |
NIKON |
NSR-2005i8A |
2015 |
8"完整不缺件设备有3台,全买每台减8万美元; |
国外
|
 |
DISCO DFL7560L激光切割机 |
DISCO |
DFL7560 |
2017 |
2020年进行了翻新,激光小时数:8000小时; |
国外
|
|
DISCO DAD651划片机 |
DISCO |
DAD651 |
- |
有3台; |
国外
|
 |
Aixtron Aix 2800G4 HT MOCVD设备 |
Aixtron |
Aix 2800G4 HT |
2010 |
- |
国外
|
 |
OKAMOTO GNX200研磨机 |
OKAMOTO |
GNX200 |
- |
设备完整不缺件; |
国内
|
 |
DISCO DAD3350晶圆切割机 |
DISCO |
DAD3350 |
2008 |
年份：2011*1/2008*3/2007*1/2004*1
W |
国外
|
 |
DISCO DFG840研磨机 |
DISCO |
DFG840 |
1996 |
不包括显示系统和显示器; |
国外
|
 |
DISCO DCS1440晶圆清洗机 |
DISCO |
DCS1440 |
2008 |
6" |
国外
|
 |
DISCO DFD6340全自动切割机 |
DISCO |
DFD6340 |
2012 |
设备完整不缺件,带8寸工作台; |
国外
|
 |
DISCO DAD3240划片机 |
DISCO |
DAD3240 |
2013 |
- |
国外
|
|
DISCO DFL7340全自动激光切割机 |
DISCO |
DFL7340 |
2011.6 |
激光器最大功率:2W
激光波长:532nm
6" |
已售出
|
|
Varian 80XP离子注入机 |
Varian |
80XP |
1988 |
已售出; |
已售出
|
|
Varian 350D离子注入机 |
Varian |
350D |
1990 |
已售出; |
已售出
|
 |
KLA Tencor UV-1280SE薄膜测量系统 |
KLA |
UV1280SE |
2000 |
已翻修完无缺件,可验机保固3个月; |
国内
|
 |
EVG 810LT低温键合机 |
EV GROUP |
EVG810LT |
2009 |
220V, 100A, 60Hz |
国外
|
 |
CANON FPA-3000i5步进式光刻机 |
CANON |
FPA-3000i5 |
1997 |
6"韩国As is; |
国外
|
 |
DISCO DGP8761减薄机 |
DISCO |
DGP8761 |
2010 |
单机(不是一体联机),不拆硬盘,成色很好; |
国外
|
|
KLA Leica INS3000侧扫声纳 |
KLA |
INS3000 |
1999 |
有2台,月底卖掉.. |
国外
|
 |
KLA Tencor RS-75薄膜测量系统 |
KLA科磊 |
RS-75 |
- |
- |
国外
|
 |
NIKON NSR S204B分步投影光刻机 |
NIKON |
NSR-S204B |
2002 |
欧洲,待出价; |
国外
|
|
DISCO DFL7160激光切割机 |
DISCO |
DFL7160 |
2006-2013 |
4台设备在马来西亚;
低k晶圆开槽,配冷却器和蜡泵,卡盘台12" |
已售出
|
 |
KLA SURFSCAN SFS6220颗粒检测仪 |
KLA科磊 |
SFS6220 |
2000 |
竞标中.. |
国外
|
 |
KLA Tencor 6400晶圆检测设备 |
KLA科磊 |
6400 |
1994 |
竞标中.. |
国外
|
 |
AMAT P5000刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P5000 |
1996 |
CVD 3chamber;nitride
CVD 4chambe |
国外
|
|
ADT 7100划片机 |
ADT(K&S) |
7100 |
- |
2台, 机况正常.. |
国外
|
 |
DISCO DFG841研磨机 |
DISCO |
DFG841 |
2001 |
设备完整不缺件; |
国内
|
|
HITACHI S-9220扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-9220 |
- |
200mm设备完整不缺件; |
国外
|
 |
DISCO DFG8560研磨机 |
DISCO |
DFG8560 |
2007 |
12"设备完整不缺件,现货2台,另1台2005年; |
国内
|
|
DISCO DGP8760研磨机 |
DISCO |
DGP8760 |
2006 |
8/12寸兼容, 不拆硬盘; |
国外
|
|
DISCO DFD6560划片机 |
DISCO |
DFD6560 |
2018 |
带方形卡盘工作台,用于包装切单; |
国外
|
 |
DISCO DFG840研磨机 |
DISCO |
DFG840 |
1996 |
不拆硬盘,不带显示器,招标中; |
国外
|
 |
DISCO DFD6340全自动切割机 |
DISCO |
DFD6340 |
2012 |
5台在台湾,一台带自动磨刀及条形码
2004/2005/2005 |
国内
|
 |
NIKON NSR 2205i12D光刻机 |
NIKON |
NSR-2205i12D |
1997 |
在线热机; |
国外
|
 |
ULVAC SIH-450溅射台 |
ULVAC |
SIH-450 |
2001 |
2-8" 1L/L chamber+1process chambe |
国内
|
 |
ACCRETECH TSK UF2000探针台 |
ACCRETECH |
UF2000 |
2007 |
设备有2台,可单卖或打包卖(在亚洲)
ST6730A Docki |
国外
|
 |
KARL SUSS MA8光刻机 |
KARL SUSS |
MA8 |
2007 |
SUSS MA8设备目前在国内;
做几寸的,具体有什么要求没？
|
国内
|
|
OKAMOTO GNX200研磨机 |
OKAMOTO |
GNX200 |
2002 |
- |
国外
|
 |
DISCO DAD3240切割机 |
DISCO |
DAD3240 |
2013 |
8"有4台; |
国内
|
 |
ASML PAS 5500/1150C光刻机 |
ASML |
5500/1150C |
2006 |
8"设备完整不缺件,在线热机美国;
2x2 cassette/t |
国外
|
 |
KLA Tencor 7700缺陷测试仪 |
KLA科磊 |
Tencor-7700 |
1997 |
- |
国外
|
 |
SCM-A320全自动激光切割机 |
SCM |
A320 |
- |
全自动激光切割系统,将指纹传感器从条形切割成单个传感器,然后进行清 |
国外
|
 |
DISCO DGP8761减薄机 |
DISCO |
DGP8761 |
2020 |
只使用了250小时的准新机,带框研磨8寸框/6寸盘,兼容GaN氮化 |
国外
|
 |
ACCRETECH AD3000T-PLUS划片机 |
ACCRETECH东京精密 |
AD3000T-PLUS |
2020 |
12" |
国外
|
 |
KLA SURFSCAN SFS6220颗粒检测仪 |
KLA科磊 |
SFS6220 |
2001 |
设备完整不缺件; |
国内
|
 |
KLA SURFSCAN SFS6200晶圆检测系统 |
KLA科磊 |
SFS6200 |
1995 |
The Surfscan 6200 is a tool that |
国外
|
 |
KLA SURFSCAN 4500颗粒检测仪 |
KLA科磊 |
4500 |
- |
4" |
国外
|
 |
KLA Surfscan SP3晶圆缺陷检测 |
KLA科磊 |
SP3 |
2014 |
在线热机,2月份拆机; |
国外
|
|
NIKON NSR 2205i12D光刻机 |
NIKON |
NSR-2205i12D |
- |
- |
国外
|
|
NIKON NSR SF130光刻机 |
NIKON |
NSR-SF130 |
- |
12" |
国内
|
|
NIKON NSR SF120光刻机 |
NIKON |
NSR-SF120 |
- |
12" 缺件 |
国内
|
|
NIKON NSR SF120光刻机 |
NIKON |
NSR-SF120 |
- |
12" 缺件 |
国内
|
|
NIKON NSR 1505G6E光刻机 |
NIKON |
NSR-1505G6E |
- |
6" |
国内
|
|
NIKON NSR 1505G6E光刻机 |
NIKON |
NSR-1505G6E |
- |
6" |
国内
|
|
NIKON NSR 1505G6E光刻机 |
NIKON |
NSR-1505G6E |
- |
6" |
国内
|
|
NIKON NSR 1505G6E光刻机 |
NIKON |
NSR-1505G6E |
1998 |
6" |
国内
|
|
NIKON NSR 1505G6E光刻机 |
NIKON |
NSR-1505G6E |
1998 |
6" |
国内
|
|
NIKON NSR 1505G7E光刻机 |
NIKON |
NSR-1505G7E |
- |
6" |
国内
|
|
NIKON NSR 1505G7E光刻机 |
NIKON |
NSR-1505G7E |
1990 |
6" |
国内
|
 |
NIKON NSR 1755i7B光刻机 |
NIKON |
NSR-1755i7B |
- |
6"设备完整不缺件,安装调试加30-40万元; |
国内
|
|
NIKON NSR 1755i7A光刻机 |
NIKON |
NSR-1755i7A |
1990.9 |
6" |
国内
|
|
NIKON NSR 2005i8A光刻机 |
NIKON |
NSR-2005i8A |
- |
8"在线热机,含安装调试; |
国内
|
|
NIKON NSR 1755G7A光刻机 |
NIKON |
NSR-1755G7A |
- |
6" |
国内
|
|
NIKON NSR 1755G7A光刻机 |
NIKON |
NSR-1755G7A |
- |
6" |
国内
|
|
NIKON NSR 1755G7A光刻机 |
NIKON |
NSR-1755G7A |
- |
6" |
国内
|
|
NIKON NSR 1755G7A光刻机 |
NIKON |
NSR-1755G7A |
- |
6" |
国内
|
|
NIKON NSR 1755G7A光刻机 |
NIKON |
NSR-1755G7A |
- |
6" |
国内
|
|
NIKON NSR 1755G7A光刻机 |
NIKON |
NSR-1755G7A |
- |
6" |
国内
|
|
NIKON NSR TFH-i12光刻机 |
NIKON |
NSR-TFH-i12 |
- |
6"设备完整不缺件; |
国外
|
|
NIKON NSR 1755G7A光刻机 |
NIKON |
NSR-1755G7A |
- |
6" |
国内
|
|
NIKON NSR 2005i8A光刻机 |
NIKON |
NSR-2005i8A |
- |
6" |
国内
|
|
NIKON NSR 2205i11D光刻机 |
NIKON |
NSR-2205i11D |
- |
6"设备完整不缺件,含税运+安装; |
国内
|
|
NIKON NSR 4425i光刻机 |
NIKON |
NSR-4425i |
1995.1 |
8" |
国内
|
|
CANON PLA-600FA投影式光刻机 |
CANON |
PLA-600FA |
1985 |
4" |
国内
|
|
CANON PLA-501FA投影式光刻机 |
CANON |
PLA-501FA |
1983 |
5"交钥匙; |
国内
|
|
CANON MPA-500FA光刻机 |
CANON |
MPA-500FA |
1983 |
5" |
国内
|
|
CANON MPA-500FAB光刻机 |
CANON |
MPA-500FAB |
1996 |
5" |
国内
|
|
CANON MPA-500FAB光刻机 |
CANON |
MPA-500FAB |
1995 |
5" |
国内
|
|
CANON MPA-500FA光刻机 |
CANON |
MPA-500FA |
1995 |
5" |
国内
|
|
CANON MPA-500FA光刻机 |
CANON |
MPA-500FA |
1982 |
5" |
国内
|
|
CANON MPA-600FA投影式光刻机 |
CANON |
MPA-600FA |
- |
4"6"设备完整不缺件; |
国内
|
|
CANON MPA-600FA投影式光刻机 |
CANON |
MPA-600FA |
1990 |
5" |
国内
|
|
CANON MPA-600FA投影式光刻机 |
CANON |
MPA-600FA |
1991 |
5" |
国内
|
|
CANON MPA-600FA投影式光刻机 |
CANON |
MPA-600FA |
1988 |
5" |
国内
|
|
CANON MPA-600FA投影式光刻机 |
CANON |
MPA-600FA |
1988 |
5" |
国内
|
|
CANON MRS-8000光刻版刷片 |
CANON |
MRS-8000 |
- |
6",8"光刻版刷片,在线热机; |
国内
|
|
CANON MAS-801HR干法去胶机 |
CANON |
MAS-801HR |
- |
5"单片等离子体去胶,在线热机(第二批); |
国内
|
|
AMAT 8330干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
- |
6"最大1801W,18片/炉,机械手传片,备件机; |
国内
|
|
AMAT 8330干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
1988.8 |
6"最大1801W,18片/炉,机械手传片; |
国内
|
|
AMAT 8330干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
1990.2 |
6"最大1801W,18片/炉,机械手传片; |
国内
|
|
AMAT 8310干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8310 |
1990 |
6"最大1801W,18片/炉,机械手传片; |
国内
|
|
AMAT 8310干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8310 |
1992.6 |
6"最大1801W,18片/炉,机械手传片; |
国内
|
|
AMAT 8310干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8310 |
1991.5 |
6"最大1801W,18片/炉,机械手传片; |
国内
|
|
AMAT 8330干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
1990.5 |
6"最大1801W,18片/炉,机械手传片; |
国内
|
|
AMAT 8330干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
1990.7 |
6"最大1801W,18片/炉,机械手传片; |
国内
|
|
AMAT 8330干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
1990.7 |
6"最大1801W,18片/炉,机械手传片; |
国内
|
|
AMAT 8330干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
1991.4 |
6"最大1801W,18片/炉,机械手传片; |
国内
|
|
AMAT 8310干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8310 |
1988.6 |
6"最大1801W,18片/炉,机械手传片; |
国内
|
|
AMAT AMS-2100干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
AMS-2100 |
- |
在线热机; |
国内
|
|
RTS-8四探针台 |
RTS |
RTS-8 |
2007 |
6"备件机; |
国内
|
|
協和化工株式會社M1900EP |
協和化工株式會社 |
M1900 |
- |
在线热机; |
国内
|
|
三洋电机株式会社01-J3MA |
三洋电机株式会社 |
01-J3MA |
- |
在线热机; |
国内
|
|
三洋电机株式会社01-J3MA |
三洋电机株式会社 |
01-J3MA |
- |
在线热机; |
国内
|
|
NISSIN NH-20SR离子注入机 |
NISSIN日新 |
NH-20SR |
1989 |
6"中束流; |
国内
|
|
NISSIN NH-20SDR离子注入机 |
NISSIN日新 |
NH-20SDR |
- |
6"中束流; |
国内
|
|
V-402真空密封装置 |
富士株式会社 |
V-402 |
- |
4",5",6",8"在线热机; |
国内
|
|
V-401真空密封装置 |
富士株式会社 |
V-401 |
- |
在线热机; |
国内
|
|
YOKOGAWA 4145A参数分析仪 |
YOKOGAWA |
4145A |
- |
在线热机; |
国内
|
|
YOKOGAWA TS67TH测试仪 |
YOKOGAWA |
TS67TH |
- |
在线热机; |
国内
|
|
YOKOGAWA TS67TH测试仪 |
YOKOGAWA |
TS67TH |
- |
在线热机; |
国内
|
|
YOKOGAWA TS67MF测试仪 |
YOKOGAWA |
TS67MF |
- |
在线热机; |
国内
|
|
YOKOGAWA TS67MF测试仪 |
YOKOGAWA |
TS67MF |
- |
在线热机; |
国内
|
|
YOKOGAWA TS67MF测试仪 |
YOKOGAWA |
TS67MF |
- |
在线热机; |
国内
|
|
YOKOGAWA TS2000测试仪 |
YOKOGAWA |
TS2000 |
- |
CP测试,在线热机; |
国内
|
|
YOKOGAWA TS2000测试仪 |
YOKOGAWA |
TS2000 |
- |
CP测试,在线热机; |
国内
|
|
YOKOGAWA TS6700测试仪 |
YOKOGAWA |
TS6700 |
- |
CP测试,在线热机; |
国内
|
|
YAC PE-615E干法刻蚀机 |
YAC |
PE-615E |
- |
6"在线热机; |
国内
|
|
YAC PE-615E干法刻蚀机 |
YAC |
PE-615E |
- |
5"PLASMA_ETCH在线热机; |
国内
|
|
Varian M2i溅射台 |
Varian |
M2i |
1995.7 |
6"单片溅射,4个靶位(Ti/AL/Wsi),WPH=25,在线热 |
国内
|
|
Varian 120XP大束流离子注入机 |
Varian |
120XP |
1989.9 |
6"大束流; |
国内
|
|
USHIO UMA-802-HC55RM紫外线固胶机 |
USHIO |
UMA-802-HC55RM |
1994 |
6" |
国内
|
|
USHIO UMA-802-HC551RM紫外线固胶机 |
USHIO |
UMA-802-HC551RM |
1994 |
6" |
国内
|
|
USHIO UMA-802-H55RM紫外线固胶机 |
USHIO |
UMA-802-H55RM |
1989 |
6" |
国内
|
|
USHIO UMA-802-H55RM紫外线固胶机 |
USHIO |
UMA-802-H55RM |
1989 |
6" |
国内
|
|
ULVAC DEKTAK 3030ST表面轮廓仪 |
ULVAC爱发科 |
DEKTAK 3030ST |
- |
4",5"在线热机; |
国内
|
|
ULVAC EBX-16CF蒸发台 |
ULVAC爱发科 |
EBX-16CF |
- |
4",5",6"电子束蒸发,在线热机; |
国内
|
|
Toshiba Machine EGV-28GX外延炉 |
Toshiba Machine |
EGV-28GX |
1998 |
6"双腔平板式外延; |
国内
|
|
TORAY INSPECTRA 1000SXⅢ硅片外观检查装置 |
TORAY |
INSPECTRA-1000SXⅢ |
- |
5",6"在线热机(第六批); |
国内
|
|
TOPCON WM-3硅片表面检查装置 |
TOPCON |
WM-3 |
- |
6"在线热机(第六批); |
国内
|
|
TEL MAC-92CV掩膜版测试仪 |
TEL |
MAC-92CV |
1997 |
6"overlay; |
国内
|
页次：
1
/ 9页 每页：500 设备数：4189
9[1][2][3][4][5][6][7][8][9]: 总共有9页
|
|
|
