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图 片 设备名称 制造商 型号 年份 详细配置 状 态
UHK-8C31M抛光机 UHK-8C31M抛光机 UHK-8C31M UHK-8C31M 2007 - 国内
19S探针台 19S探针台 19S 19S 1991 - 国内
19S探针台 19S探针台 19S 19S 1991 - 国内
19S探针台 19S探针台 19S 19S 1996 - 国内
19S探针台 19S探针台 19S 19S 1989 - 国内
19S探针台 19S探针台 19S 19S 1995 - 国内
REBO-7L粘片机 REBO-7L粘片机 REBO-7L REBO-7L 2011 - 国内
SUS-50粘片机 SUS-50粘片机 SUS-50 SUS-50 1995 - 国内
UTC-200BI粘片机 UTC-200BI粘片机 UTC-200BI UTC-200BI 1997 - 国内
UTC-400BI粘片机 UTC-400BI粘片机 UTC-400BI UTC-400BI 2003 - 国内
UTC-300BI粘片机 UTC-300BI粘片机 UTC-300BI UTC-300BI 2000 - 国内
SPA-20粘片机 SPA-20粘片机 SPA-20 SPA-20 1992 - 国内
YA-203烘箱 YA-203烘箱 YA-203 YA-203 1995 - 国内
RBC-M021烘箱 RBC-M021烘箱 RBC-M021 RBC-M021 1998 - 国内
YA-203烘箱 YA-203烘箱 YA-203 YA-203 1995 - 国内
HPS-222烘箱 HPS-222烘箱 HPS-222 HPS-222 1983 - 国内
KHT-101-3SS烘箱 KHT-101-3SS烘箱 KHT-101-3SS KHT-101-3SS 2010 - 国内
PL-3KP烘箱 PL-3KP烘箱 PL-3KP PL-3KP 2006 - 国内
PR-2KT烘箱 PR-2KT烘箱 PR-2KT PR-2KT 2003 - 国内
PR-3SPH烘箱 PR-3SPH烘箱 PR-3SPH PR-3SPH 1997 - 国内
LHX-R210-2烘箱 LHX-R210-2烘箱 LHX-R210-2 LHX-R210-2 1989 - 国内
PR-3KP烘箱 PR-3KP烘箱 PR-3KP PR-3KP 2010 - 国内
PH-4KT烘箱 PH-4KT烘箱 PH-4KT PH-4KT 2007 - 国内
YHT-F083烘箱 YHT-F083烘箱 YHT-F083 YHT-F083 1998 - 国内
TSB-5烘箱 TSB-5烘箱 TSB-5 TSB-5 1989 - 国内
RBM-F2-1001-22RL烘箱 RBM-F2-1001-22RL烘箱 RBM-F2-1001-22RL RBM-F2-1001-22RL 1997 - 国内
PR-3KP烘箱 PR-3KP烘箱 PR-3KP PR-3KP 2007 - 国内
SEA5220烘箱 SEA5220烘箱 SEA5220 SEA5220 2001 - 国内
FS200超声波清洗机 FS200超声波清洗机 FS200 FS200 2004 - 国内
SMX-160E测试仪 SMX-160E测试仪 SMX-160E SMX-160E 2001 - 国内
S-2400测试仪 S-2400测试仪 S-2400 S-2400 1991 - 国内
A-PM-90A测试仪 A-PM-90A测试仪 A-PM-90A A-PM-90A 1999 - 国内
IPHH-200烘箱 IPHH-200烘箱 IPHH-200 IPHH-200 1990 - 国内
HPS-232烘箱 HPS-232烘箱 HPS-232 HPS-232 1985 - 国内
HHB-010-3SS烘箱 HHB-010-3SS烘箱 HHB-010-3SS HHB-010-3SS 1991 - 国内
TSB-5烘箱 TSB-5烘箱 TSB-5 TSB-5 1991 - 国内
PH-3FT烘箱 PH-3FT烘箱 PH-3FT PH-3FT 1991 - 国内
EHT烘箱 EHT烘箱 EHT EHT 1983 - 国内
TNR15-225LH烘箱 TNR15-225LH烘箱 TNR15-225LH TNR15-225LH 2004 - 国内
TSA-101L-A烘箱 TSA-101L-A烘箱 TSA-101L-A TSA-101L-A 2006 - 国内
TSA-71S-A烘箱 TSA-71S-A烘箱 TSA-71S-A TSA-71S-A 2003 - 国内
EHT烘箱 EHT烘箱 EHT EHT 1982 - 国内
UL-2604-10H扩散炉 UL-2604-10H扩散炉 UL-2604-10H UL-2604-10H 1993 - 国内
SMI3050(C/W)测试仪 SMI3050(C/W)测试仪 SMI3050 SMI3050 - 国内
SMX-1000测试仪 SMX-1000测试仪 SMX-1000 SMX-1000 2007 - 国内
Accord Cleaner清洗机 Accord Cleaner清洗机 Accord 400 - 1 国外
ASM Wire bonder焊线机 ASM Wire bonder焊线机 ASM iHawk Xtreme - 6 国外
ASM Die bonder固晶机 ASM Die bonder固晶机 ASM AD838 - 2 国外
ASM Wire bonder焊线机 ASM Wire bonder焊线机 ASM iHawk Xtreme - 4 国外
CEPHEUS仕宇Taper手动贴膜机 CEPHEUS仕宇Taper手动贴膜机 CEPHEUS仕宇 FM610 - 1 国外
DISCO DCS141清洗机 DISCO DCS141清洗机 DISCO DCS141 - 1 国外
DISCO DTU152冰水机 DISCO DTU152冰水机 DISCO DTU-152 - - 国外
DISCO DAD2H6划片机 DISCO DAD2H6划片机 DISCO DAD2H6 - 1 国外
DISCO DAD321划片机 DISCO DAD321划片机 DISCO DAD321 - 3 国外
DISCO DAD341划片机 DISCO DAD341划片机 DISCO DAD341 - 5 国外
DISCO DGP8760主轴 DISCO DGP8760主轴 DISCO DGP8760 - 1 国外
DISCO DFD651划片机 DISCO DFD651划片机 DISCO DFD651 - 1 国外
DISCO DFD6360划片机 DISCO DFD6360划片机 DISCO DFD6360 - 2 国外
DISCO DTU170冰水机 DISCO DTU170冰水机 DISCO DTU170 - 1 国外
DISCO DAD321划片机 DISCO DAD321划片机 DISCO DAD321 - 1 国外
DISCO DFG8540 Z1 研磨板(new) DISCO DFG8540 Z1 研磨板(new) DISCO BVDS0120 - 7 国外
DISCO DFG8540 Z1 研磨板(used) DISCO DFG8540 Z1 研磨板(used) DISCO BVDS0120 - 3 国外
DISCO DFG8540研磨机 DISCO DFG8540研磨机 DISCO DFG8540 - 18 国外
DISCO DFG8540研磨机 DISCO DFG8540研磨机 DISCO DFG8540 - 7 国外
DISCO DFG8540研磨机 DISCO DFG8540研磨机 DISCO DFG8540 - 7 国外
Transformer变压器 Transformer变压器 ELME transformer - 4 国外
EO tech CSM3002FC雷射盖印机 EO tech CSM3002FC雷射盖印机 EO tech CSM3002FC - 1 国外
Giant Force巨孚高温恒温机 Giant Force巨孚高温恒温机 Giant Force巨孚 NA - 2 国外
GPM KS-340 Die sorter晶粒挑拣机 GPM KS-340 Die sorter晶粒挑拣机 GPM KS-340 - 12 国外
Hermes EC-250S CO2 bubbler产生器 Hermes EC-250S CO2 bubbler产生器 Hermes EC-250S - 1 国外
HITACHI	DB730-AC固晶机 HITACHI DB730-AC固晶机 HITACHI DB730-AC - 4 国外
KLA CI-T130 lead scanner扫脚机 KLA CI-T130 lead scanner扫脚机 KLA科磊 CI-T130 - 1 国外
KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机 KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机 KLA科磊 CI-T130 - 2 国外
KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机 KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机 KLA科磊 CI-T120 - 3 国外
KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机 KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机 KLA科磊 CI-T130 - 1 国外
KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机 KLA CI-T130 Lead scanner扫脚机 KLA科磊 CI-T130 - 4 国外
KLA CI-T830 Lead scanner扫脚机 KLA CI-T830 Lead scanner扫脚机 KLA科磊 CI-T830 - 1 国外
KLA Industrial Camera工业相机 KLA Industrial Camera工业相机 KLA科磊 IVC-1600 - 2 国外
KLA Industrial Camera工业相机 KLA Industrial Camera工业相机 KLA科磊 IVC-2000 - 2 国外
KLA IVC-4000 KLA IVC-4000 KLA科磊 IVC-4000 - 1 国外
KLA-Tencor (ICOS) CD KLA-Tencor (ICOS) CD KLA科磊 Manual - 1 国外
KLA-Tencor (ICOS) CD KLA-Tencor (ICOS) CD KLA科磊 ICOS6100_7.6 - 1 国外
UV Irradiator紫外线照射机 UV Irradiator紫外线照射机 Lintec RAD2000 F12 - 1 国外
Muehlbauer Tech DS20000挑拣编带机 Muehlbauer Tech DS20000挑拣编带机 Muehlbauer Tech DS20000 - 1 国外
Muehlbauer Tech DS15000挑拣编带机 Muehlbauer Tech DS15000挑拣编带机 Muehlbauer Tech DS15000 - 1 国外
NGK RC-1000A产生器 NGK RC-1000A产生器 NGK RC-1000A - 1 国外
NITTO DSA840贴片机 NITTO DSA840贴片机 NITTO DSA840 - 1 国外
NITTO HSA840撕膜机 NITTO HSA840撕膜机 NITTO HSA840 - 1 国外
NITTO M286N贴片机 NITTO M286N贴片机 NITTO M286N - 2 国外
NITTO MSA840贴片机 NITTO MSA840贴片机 NITTO MSA840 - 2 国外
NITTO MA3000-II贴片机 NITTO MA3000-II贴片机 NITTO MA3000-II - 1 国外
NITTO UM-810紫外线照射机 NITTO UM-810紫外线照射机 NITTO UM-810 - 2 国外
NITTO NITOMATIC Detaper撕膜机 NITTO NITOMATIC Detaper撕膜机 NITTO NITOMATIC - 1 国外
NITTO DR3000-II贴膜机 NITTO DR3000-II贴膜机 NITTO DR3000-II - 3 国外
NITTO DR3000-III贴膜机 NITTO DR3000-III贴膜机 NITTO DR3000-III - 1 国外
NITTO MA1508N贴片机 NITTO MA1508N贴片机 NITTO MA1508N - 1 国外
Nordson Quantum Q-6800自动点胶系统 Nordson Quantum Q-6800自动点胶系统 Nordson Quantum Q-6800 - 1 国外
Panaonic KXFW1KS8A00 Feeder飛達 Panaonic KXFW1KS8A00 Feeder飛達 Panaonic KXFW1KS8A00 - 1 国外
Panaonic KXFW1KS5A00 Feeder飛達 Panaonic KXFW1KS5A00 Feeder飛達 Panaonic KXFW1KS5A00 - 6 国外
SEIKO EPSON Handler分选机 SEIKO EPSON Handler分选机 SEIKO EPSON NS-6040 - 34 国外
SEIKO EPSON Handler分选机 SEIKO EPSON Handler分选机 SEIKO EPSON NS-7000 - 11 国外
SEIKO EPSON Handler分选机 SEIKO EPSON Handler分选机 SEIKO EPSON NS-7080 - 3 国外
SEIKO EPSON Handler分选机 SEIKO EPSON Handler分选机 SEIKO EPSON NS-7000 - 3 国外
SEIKO EPSON Handler分选机 SEIKO EPSON Handler分选机 SEIKO EPSON NS-8040 - 1 国外
SEIKO EPSON Handler分选机 SEIKO EPSON Handler分选机 SEIKO EPSON NS-8080 - 1 国外
TAKATORI ATM-12000DR贴膜机 TAKATORI ATM-12000DR贴膜机 TAKATORI ATM-12000DR - 1 国外
TAKATORI ATRM-2100D撕膜机 TAKATORI ATRM-2100D撕膜机 TAKATORI ATRM-2100D - 1 国外
TAKATORI TEAM-300贴膜机 TAKATORI TEAM-300贴膜机 TAKATORI TEAM-300 - 1 国外
TAKATORI ATRM-2100撕膜机 TAKATORI ATRM-2100撕膜机 TAKATORI ATRM-2100 - 1 国外
TEIKOKU ATM-800X贴膜机 TEIKOKU ATM-800X贴膜机 TEIKOKU ATM-800X - 1 国外
ACCRETECH TSK A-WD-5000A划片机 ACCRETECH TSK A-WD-5000A划片机 ACCRETECH东京精密 A-WD-5000A - 1 国外
UNI-TEK	TM2510手动贴片机 UNI-TEK TM2510手动贴片机 UNI-TEK TM2510 - 1 国外
Y-A-M-A-T-O Oven烤箱 Y-A-M-A-T-O Oven烤箱 Y-A-M-A-T-O DKN402 - 1 国外
AST Evaporator电子束蒸镀机 AST Evaporator电子束蒸镀机 AST PEVA-900E 2014-08-13 已打包 国外
Camtek Falcon 620Plus晶圆检测机器 Camtek Falcon 620Plus晶圆检测机器 Camtek Falcon 620Plus 2014-12-31 已打包 国外
CDE resh map 168CDE四点探针电阻仪 CDE resh map 168CDE四点探针电阻仪 CDE CDE ResMap168 2015-05-21 已打包 国外
CSK HEATS-05洗涤器 CSK HEATS-05洗涤器 CSK南韩 HEATS-05 2015-08-05 已打包 国外
RIGAKU WDA-3650荧光光谱仪 RIGAKU WDA-3650荧光光谱仪 RIGAKU WDA-3650 2015-06-30 已打包 国外
SPTS FXP刻蚀机 SPTS FXP刻蚀机 SPTS FXP 2014-03-11 已打包 国外
Gemini Fusion/Anodic Bonder熔合/阳极键合机 Gemini Fusion/Anodic Bonder熔合/阳极键合机 EVG Gemini 2015-03-01 已打包 国外
OKAMOTO GNX200B研磨机 OKAMOTO GNX200B研磨机 OKAMOTO GNX200B 2015-03-01 已打包 国外
Holmarc Contact AngleHolmarc 接触角测量仪 Holmarc Contact AngleHolmarc 接触角测量仪 Holmarc HO-IAD-CAM-01A 2016-07-14 已打包 国外
KEYENCE VHX-500数字显微镜 KEYENCE VHX-500数字显微镜 KEYENCE VHX-500 2016-02-17 已打包 国外
MX608 Wafer Thickness晶圆厚度测量仪 MX608 Wafer Thickness晶圆厚度测量仪 E+H Metrology E+H MX608T 2015-11-06 已打包 国外
NIKON DS-FI2显微镜校准器 NIKON DS-FI2显微镜校准器 NIKON DS-FI2 2017-06-30 已打包 国外
OAI Mask alignerOAI光刻机 OAI Mask alignerOAI光刻机 OAI 8008A 2014-08-29 已打包 国外
PAV Tepla GIGABatch 380P除胶机 PAV Tepla GIGABatch 380P除胶机 PAV Tepla GIGABatch 380P 2016-12-24 已打包 国外
SPTS CET 25 VPX蒸汽蚀刻机 SPTS CET 25 VPX蒸汽蚀刻机 SPTS CET 25 VPX 2016-04-04 已打包 国外
RCH FurnaceRCH 炉管 RCH FurnaceRCH 炉管 RCH Model 5604 2014-09-01 已打包 国外
RISE Wet Bench酸槽 RISE Wet Bench酸槽 RISE NA 2015-03-01 已打包 国外
Sensofar Pegasus 8060膜厚测量机 Sensofar Pegasus 8060膜厚测量机 Sensofar Pegasus 8060 2015-03-01 已打包 国外
SRD Der Fong DF-200-D晶圆甩干机 SRD Der Fong DF-200-D晶圆甩干机 Der Fung Engineering DF-200 2014-06-30 已打包 国外
TEL ACT8涂胶显影机 TEL ACT8涂胶显影机 TEL ACT8 2014-12-17 已打包 国外
DISCO DFD6240划片机 DISCO DFD6240划片机 DISCO DFD6240 2015-11-06 已打包 国外
KLA FLX-5400 Flexus晶圆翘曲度测量仪 KLA FLX-5400 Flexus晶圆翘曲度测量仪 KLA科磊 FLX-5400 2015-02-01 已打包 国外
KLA SURFSCAN SFS6220颗粒检测仪 KLA SURFSCAN SFS6220颗粒检测仪 KLA科磊 SFS6220 2015-02-01 已打包 国外
KLA Surfscan SP3(上料机构) KLA Surfscan SP3(上料机构) KLA科磊 SP3 2012.3 上料机构 国外
ASML PASS 5500/100D光刻机 ASML PASS 5500/100D光刻机 ASML PASS 5500/100D 1996 6in(有3台) 国外
LAM SEZ203晶圆旋转刻蚀机 LAM SEZ203晶圆旋转刻蚀机 LAM泛林 SEZ203 - - 已售出
EVG510晶圆键合机 EVG510晶圆键合机 EVG EVG510 2017 - 国外
HITACHI S-8820扫描电子显微镜 HITACHI S-8820扫描电子显微镜 HITACHI S-8820 - 未折箱 国外
HITACHI S-8840扫描电子显微镜 HITACHI S-8840扫描电子显微镜 HITACHI S-8840 - - 国内
KARL SUSS ACS200Plus涂胶显影机 KARL SUSS ACS200Plus涂胶显影机 KARL SUSS ACS200Plus 1998 Falcon robot
(4) Hot plates
(2)
国外
KLA Surfscan SP2晶圆检测系统 KLA Surfscan SP2晶圆检测系统 KLA科磊 SP2 - 300mm,真空处理与三重FIMS;
全面翻新和校准,在洁净室中
国外
TEL Trias (SFD TIN ) TEL Trias (SFD TIN ) TEL Trias (SFD TIN ) 2007 300mm As-Is, Where-Is 国外
TEL Trias (SFD TIN ) TEL Trias (SFD TIN ) TEL Trias (SFD TIN ) 2007 300mm As-Is, Where-Is 国外
NIKON NSR 2205i11D光刻机 NIKON NSR 2205i11D光刻机 NIKON NSR-2205i11D 1996.3 200mm As-Is, Where-Is;含软件及硬盘 国外
鑫揚CASSETTE CLEAN 鑫揚CASSETTE CLEAN 鑫揚 CASSETTE CLEAN 2015.12 200mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
DNS FC-821L DNS FC-821L DNS FC-821L 2003.6 200mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
DNS FC-821L DNS FC-821L DNS FC-821L 2001.1 200mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
DNS FC-821L DNS FC-821L DNS FC-821L 2001.2 200mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
KLA UV-1050薄膜测量系统 KLA UV-1050薄膜测量系统 KLA科磊 UV-1050 1996.5 200mm As-Is, Where-Is;含软件及硬盘 国外
SPC ELECTRONICS CASSETTE CLEANING SPC ELECTRONICS CASSETTE CLEANING SPC ELECTRONICS CASSETTE CLEANING 2000.4 200mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
Thermo Fisher DX600 Thermo Fisher DX600 Thermo Fisher DX600 2002.2 300mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
DNS MP3000 DNS MP3000 DNS MP3000 2005.12 300mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
ULVAC W300 EX多腔溅射设备 ULVAC W300 EX多腔溅射设备 ULVAC爱发科 W300 EX 2005.11 300mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
TEL ACT-12涂胶显影机 TEL ACT-12涂胶显影机 TEL ACT-12 2004.4 300mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
TEL Trias TEL Trias TEL Trias 2003.11 300mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
TEL UW300Z TEL UW300Z TEL UW300Z 2002.3 300mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
Mattson Helios Mattson Helios Mattson Helios 2005.3 300mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
Mattson 3000steam Mattson 3000steam Mattson 3000steam 2004.4 300mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
ASM Dragon ASM Dragon ASM Dragon 2005.11 300mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
ASM Dragon ASM Dragon ASM Dragon 2005.8 300mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
LEICA INS3300 LEICA INS3300 LEICA INS3300 2002.8 300mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
LEICA INS3300 LEICA INS3300 LEICA INS3300 2005.2 300mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
HITACHI IS3000 HITACHI IS3000 HITACHI IS3000 2006.7 300mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
HITACHI U-712 HITACHI U-712 HITACHI U-712 2003.10 300mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
HITACHI U-712 HITACHI U-712 HITACHI U-712 2003.11 300mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
HITACHI U-712 HITACHI U-712 HITACHI U-712 2003.10 300mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
REVERA RVX1000 REVERA RVX1000 REVERA RVX1000 2007.7 300mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
HMI eScan310 HMI eScan310 HMI eScan310 2008.12 300mm As-Is, Where-Is;不含硬盘 国外
ASM Epsilon E2000 ASM Epsilon E2000 ASM Epsilon E2000 - - 国外
ASM Epsilon E2000+ ASM Epsilon E2000+ ASM Epsilon E2000+ 2011 上个月拆机前正常运作,目前存放在温控仓库. 国外
KLA Surfscan SP1 TBI颗粒测量仪 KLA Surfscan SP1 TBI颗粒测量仪 KLA科磊 SP1-TBI - Equipment Make: KLA-Tencor
Equ
国外
HITACHI SU-9000扫描电镜 HITACHI SU-9000扫描电镜 HITACHI SU-9000 - - 国外
Mattson AST3000退火炉 Mattson AST3000退火炉 Mattson AST3000 - - 国外
KARL SUSS ACS200涂胶显影机 KARL SUSS ACS200涂胶显影机 KARL SUSS ACS200 2006 GENMARK Robot
(2) RC8 Spin coa
国外
ASML XT1250D光刻机 ASML XT1250D光刻机 ASML XT1250D - 无尘车间正常运转中 国外
DISCO DFD651划片机 DISCO DFD651划片机 DISCO DFD651 1997 机况良好. 国外
TECHNOS TREX 610T缺陷测试仪 TECHNOS TREX 610T缺陷测试仪 TECHNOS TREX610T 1999.11 - 国外
DISCO DFG840减薄机 DISCO DFG840减薄机 DISCO DFG840 1997 - 国外
DISCO DFD6362划片机 DISCO DFD6362划片机 DISCO DFD6362 2012 - 已售出
DNS KS-7000 DNS KS-7000 DNS KS-7000 2012.5 - 国内
CANON PLA-501FA投影式光刻机 CANON PLA-501FA投影式光刻机 CANON PLA-501FA - - 国外
HITACHI S-4700扫描电子显微镜 HITACHI S-4700扫描电子显微镜 HITACHI S-4700 2001 HORIBA 7200-H X-Ray spectroscopy
国外
NIKON NSR 2205i11C光刻机 NIKON NSR 2205i11C光刻机 NIKON NSR-2205i11C 1994 Stepper, 6" 国外
HITACHI S-8820扫描电子显微镜 HITACHI S-8820扫描电子显微镜 HITACHI S-8820 - 200mm For sale
Power-on Conditio
国外
45所瑞耘敦仪甩干机多台 45所瑞耘敦仪甩干机多台 45所瑞耘敦仪 - - 单机已调试好,配套转子,含调试含税运 国内
DISCO DFG841晶圆减薄机 DISCO DFG841晶圆减薄机 DISCO DFG841 1999 含安装调试 国内
NIKON NSR 2205 i11D光刻机 NIKON NSR 2205 i11D光刻机 NIKON NSR-2205i11D - - 国外
CANON MPA-500FA光刻机 CANON MPA-500FA光刻机 CANON MPA-500FA 1982 5" 国外
CANON MPA-500FA光刻机 CANON MPA-500FA光刻机 CANON MPA-500FA 1995 5" 国外
CANON MPA-500FAB光刻机 CANON MPA-500FAB光刻机 CANON MPA-500FAB 1995 5" 国外
CANON MPA-500FAB光刻机 CANON MPA-500FAB光刻机 CANON MPA-500FAB 1996 5" 国外
CANON MPA-500FA光刻机 CANON MPA-500FA光刻机 CANON MPA-500FA 1983 5" 国外
CANON PLA-501FA投影式光刻机	CANON PLA-501FA投影式光刻机 CANON PLA-501FA 1983 5" 国外
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