| 图 片 |
设备名称 |
制造商 |
型号 |
年份 |
详细配置 |
状 态 |
 |
Coater SC-W80A匀胶显影机 |
匀胶显影机 |
Coater SC-W80A |
|
6" |
国内
|
|
Coater SCW-636-BV匀胶显影机 |
coater |
Coater SCW-636-BV |
|
6" |
国内
|
|
developer SDW-636-CV匀胶显影机 |
developer |
developer SDW-636-CV |
|
6" |
国内
|
|
Coater/developer SKW-629 |
Coater/developer |
Coater/developer SKW-629 |
|
6" |
国内
|
|
coater MK-II匀胶显影机 |
coater |
coater MK-II |
|
6" |
国内
|
|
developer MK-II匀胶显影机 |
developer |
developer MK-II |
|
6" |
国内
|
|
CANON CDS-630匀胶显影机 |
CANON |
CDS-630 |
|
- |
国内
|
|
HITACHI M308刻蚀机 |
HITACHI |
M308 |
|
- |
国内
|
|
HITACHI M318刻蚀机 |
HITACHI |
M318 |
- |
- |
国内
|
|
RAM250刻蚀机 |
刻蚀机 |
RAM250 |
|
- |
国内
|
|
Tegal 901e等离子干法刻蚀机 |
Tegal |
901e |
- |
- |
国内
|
|
Tegal 903e等离子干法刻蚀机 |
Tegal |
903e |
- |
- |
国内
|
|
E630刻蚀机 |
刻蚀机 |
E630 |
|
5" |
国内
|
|
TEL TE5000刻蚀机 |
TEL |
TE5000 |
- |
5" |
国内
|
|
TEL TE480刻蚀机 |
TEL |
TE480 |
- |
5",6" |
国内
|
|
TEL TE580刻蚀机 |
TEL |
TE580 |
- |
6" |
国内
|
|
AMAT 8330刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
AMAT 8330 |
|
6" |
国内
|
|
AMAT 8110刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
AMAT 8110 |
|
6" |
国内
|
|
OAPM-400刻蚀机 |
刻蚀机 |
OAPM-400 |
|
6" |
国内
|
|
TEL TE8500刻蚀机 |
TEL |
TE8500 |
- |
6" |
国内
|
|
TCA-3822刻蚀机 |
刻蚀机 |
TCA-3822 |
|
5" |
国内
|
|
TSE-360刻蚀机 |
刻蚀机 |
TSE-360 |
|
6" |
国内
|
|
DES-206-254AV去胶机 |
去胶机 |
DES-206-254AV |
|
6" |
国内
|
|
TCA-2600去胶机 |
去胶机 |
TCA-2600 |
|
6" |
国内
|
|
TCA-3400去胶机 |
去胶机 |
TCA-3400 |
|
6" |
国内
|
|
OPM-1200去胶机 |
去胶机 |
OPM-1200 |
|
4" |
国内
|
|
S4150-21220去胶机 |
去胶机 |
S4150-21220 |
|
5" |
国内
|
|
S3150去胶机 |
去胶机 |
S3150 |
|
6" |
国内
|
|
PEL516去胶机 |
去胶机 |
PEL516 |
|
6" |
国内
|
|
ANELVA ILC-1012MKII溅射台 |
ANELVA |
ILC-1012MKII |
- |
6" |
国内
|
|
ANELVA I-1060 SV PVD溅射台 |
ANELVA |
I-1060 SV |
|
6" |
国内
|
|
ANELVA ILC-1013溅射台 |
ANELVA |
ILC-1013 |
|
4",6" |
国内
|
|
ANELVA ILC-1015溅射台 |
ANELVA |
ILC-1051 |
- |
6" |
国内
|
|
MRC603溅射台 |
溅射台 |
MRC603 |
|
5" |
国内
|
|
MCH-9000溅射台 |
溅射台 |
MCH-9000 |
|
4",6" |
国内
|
|
PE2400溅射台 |
溅射台 |
PE2400 |
|
6" |
国内
|
|
PE4400溅射台 |
溅射台 |
PE4400 |
|
- |
国内
|
|
SLRK-S131溅射台 |
溅射台 |
SLRK-S131 |
|
- |
国内
|
|
EVA-500蒸发台 |
蒸发台 |
EVA-500 |
|
- |
国内
|
|
SM-4804蒸发台 |
蒸发台 |
SM-4804 |
|
- |
国内
|
|
SEC-4804蒸发台 |
蒸发台 |
SEC-4804 |
|
- |
国内
|
|
EVC-1701蒸发台 |
蒸发台 |
EVC-1701 |
|
5" |
国内
|
|
EX650蒸发台 |
蒸发台 |
EX650 |
|
4",5",6" |
国内
|
|
横式炉 XL-7扩散炉 |
扩散炉 |
横式炉XL-7 |
|
4",5",6" |
国内
|
|
横式炉 XL-8扩散炉 |
扩散炉 |
横式炉XL-8 |
|
6" |
国内
|
|
横式炉 DL-8P扩散炉 |
扩散炉 |
横式炉DL-8P |
|
4" |
国内
|
|
横式炉 DD7400扩散炉 |
扩散炉 |
横式炉DD7400 |
|
6" |
国内
|
|
横式炉 UX-1080扩散炉 |
扩散炉 |
横式炉UX-1080 |
|
5" |
国内
|
|
横式炉 855扩散炉 |
扩散炉 |
横式炉855 |
|
6" |
国内
|
 |
KOKUSAI DD-802V立式扩散炉 |
KOKUSAI |
DD-802V |
- |
4",5" |
国内
|
|
竖式炉 DJ-813扩散炉 |
扩散炉 |
竖式炉DJ-813 |
|
- |
国内
|
|
竖式炉 DJ-805扩散炉 |
扩散炉 |
竖式炉DJ-805 |
|
- |
国内
|
|
竖式炉 VF-5100扩散炉 |
扩散炉 |
竖式炉VF-5100 |
|
- |
国内
|
 |
AG4100快速退火炉 |
AG快速退火炉 |
AG4100 |
- |
4" |
已售出
|
|
CONCEPT ONE(200) |
CVD |
CONCEPT ONE(200) |
|
- |
国内
|
|
CONCEPT ONE(150) |
CVD |
CONCEPT ONE(150) |
|
- |
国内
|
|
KOKUSAI DJ-802V立式扩散炉 |
KOKUSAI |
DJ-802V |
- |
LPCVD |
国内
|
|
APCVD AMS-2100 |
CVD |
APCVD AMS-2100 |
|
- |
国内
|
|
UL-8 横式 LP-CVD |
CVD |
UL-8 横式 LP-CVD |
|
- |
国内
|
|
AP-CVD-2800 |
CVD |
AP-CVD-2800 |
|
6" |
国内
|
|
WJ-999 |
- |
WJ-999 |
|
5" |
国内
|
|
VDS-5600 |
- |
VDS-5600 |
|
5" |
国内
|
|
VDS-5000 |
- |
VDS-5000 |
- |
6" 有3台; |
国内
|
|
VCF-615S |
- |
VCF-615S |
|
5" |
国内
|
|
抛光机 |
- |
36SPAN |
|
5" |
国内
|
|
减薄机 |
- |
DFG-28I/F |
|
6" |
国内
|
|
减薄机 |
- |
SVG-502 |
|
6" |
国内
|
|
TEL 19S探针台 |
TEL |
TEL 19S |
|
6" |
国内
|
|
多晶硅铸造炉 |
- |
SUC400 Plus |
|
6" |
国内
|
|
AMAT AMC 7811 RTP外延炉 |
AMAT |
AMC-7811 |
- |
6"有8台 |
国内
|
|
AMAT 7700外延炉 |
AMAT应用材料 |
7700 |
- |
6" |
国内
|
|
EGV-28GX外延炉 |
外延炉 |
EGV-28GX |
|
6" |
国内
|
|
EGV-28FM外延炉 |
外延炉 |
EGV-28FM |
|
5" |
国内
|
|
PEM-500双面光刻机 |
PEM-500 |
PEM-500 |
|
6" |
国内
|
|
NIKON NSR 1505G6D步进光刻机 |
NIKON |
NSR-1505G6D |
|
6" |
国内
|
|
涂胶机6" |
- |
SCW-629 |
|
6" |
国内
|
|
显影机6" |
- |
SDW-629 |
|
5",6" |
国内
|
|
深槽刻蚀机6" |
- |
AMS 200 |
|
5",6" |
国内
|
|
湿法刻蚀机6" |
- |
AMS-2003SE |
|
8" |
国内
|
|
刻蚀机6" |
- |
PE8330A |
|
5" |
国内
|
|
刻蚀机6" |
- |
PE8330 |
|
6" |
国内
|
|
TEL TE8500刻蚀机 |
TEL |
TE8500 |
- |
6" |
国内
|
|
刻蚀机6" |
- |
A601E |
|
6" |
国内
|
|
刻蚀机6" |
- |
E18 |
|
5" |
国内
|
|
去胶机6" |
- |
DES-212-304AVLIII |
|
5" |
国内
|
|
去胶机6" |
- |
TCA-3822 |
|
6" |
国内
|
|
ANELVA ILC-1015溅射台 |
ANELVA |
ILC-1051 |
- |
6" |
国内
|
|
Novellus Concept-1 PECVD 6 |
Novellus |
CONCEPT-1 |
|
6" |
国内
|
|
Novellus Concept-1 PECVD 6 |
Novellus |
CONCEPT-1 |
|
6" |
国内
|
|
Novellus Concept-1 PECVD 6 |
Novellus |
CONCEPT-1 |
|
6" |
国内
|
|
Novellus Concept-1 PECVD 6 |
Novellus |
CONCEPT-1 |
|
6" |
国内
|
|
甩干机 6 |
- |
- |
- |
有1台; |
已售出
|
|
甩干机 6 |
- |
- |
- |
4" 有1台; |
已售出
|
|
甩干机 6 |
- |
- |
- |
6" 有1台; |
已售出
|
|
甩干机 6 |
- |
- |
- |
6" |
已售出
|
|
甩干机 6 |
- |
- |
- |
5" 有1台 |
已售出
|
|
甩干机 6 |
- |
- |
- |
有2台; |
已售出
|
|
清洗机 6 |
- |
- |
- |
有1台; |
已售出
|
|
烘箱 6 |
- |
- |
- |
5" 有2台; |
国内
|
|
非接触 C-V 测定仪 6 |
- |
CV-8000 |
|
5" |
国内
|
|
红外线膜厚测试仪 6 |
- |
FTS-40FIR |
|
3",5" |
国内
|
|
红外线膜厚测试仪 6 |
- |
QS-300 |
|
6" |
国内
|
|
LP-CVD 6 |
- |
DJ-813V 立式 LP-CVD |
|
6" |
国内
|
|
LP-CVD 6" |
- |
DJ-813V-6B 立式 LP-CVD |
|
4" |
国内
|
|
KOKUSAI DD-802V立式扩散炉 |
KOKUSAI |
DD-802V |
- |
4",5" |
国内
|
|
Mattson AST2800退火炉 |
Mattson |
AST2800 |
- |
6" |
已售出
|
|
200SJ离子注入机 |
200SJ |
200SJ |
- |
5" |
国内
|
|
Denton磁控 |
Denton |
- |
- |
- |
国外
|
|
DISCO DAD3220划片机 |
DISCO |
DAD3220 |
2016 |
Dicing saw, 8"
Spindle, 2"
NCS
|
国外
|
|
DISCO DAD321/341划片机 |
DISCO |
DAD321/341 |
- |
4台打包出售(2个型号各2台) |
国外
|
|
DISCO DFG840减薄机 |
DISCO |
DFG 840 |
- |
设备完整不缺件,线上热机,; |
已售出
|
|
SHIMADZU ALLS-100X-33CⅡ液晶注入装置 |
SHIMADZU |
ALLS-100X-33CⅡ |
2005 |
制造商:SHIMADZU
型号:ALIS-100X-33CI
|
国外
|
|
DISCO DFG840减薄机 |
DISCO |
DFG 840 |
- |
亚洲线上热机; |
已售出
|
|
AMAT MATERIALS CENTURA ENABLER |
AMAT应用材料 |
MATERIALS CENTURA ENABLER |
2008 |
System
AC Rack
Monitor
M |
国外
|
|
CANON FPA 5510 iX Stepper i-Line stepper |
CANON |
FPA 5510 iX Stepper i-Line ste |
2014 |
线上热机 |
国外
|
|
AMAT MATERIALS Centura HTF EPI System |
AMAT应用材料 |
MATERIALS Centura HTF EPI Syst |
- |
美国已下线 |
国外
|
|
HITACHI S-8840扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-8840 |
1997 |
欧洲线上热机; |
已售出
|
|
AMAT P5000刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P5000 |
- |
8'' CVD |
国外
|
|
Varian 120XP大束流离子注入机 |
Varian |
120XP |
- |
6"大束流 |
国外
|
|
NIKON NSR 2005i8A光刻机 |
NIKON |
NSR-2005i8A |
- |
- |
国外
|
|
NIKON NSR 2205i12C光刻机 |
NIKON |
NSR-2205i12C |
- |
尼康NSR 2205 i12C i-Line步进,6" |
国外
|
|
DISCO DAD651切割机 |
DISCO |
DAD651 |
2002 |
Dicing saw
Dual spindle
2001-20 |
国外
|
|
Aixtron Crius II MOCVD设备 |
Aixtron |
Crius II |
- |
55片x2英寸
13片x4英寸
5片x6英寸 |
国内
|
|
ULVAC W300 EX多腔溅射设备 |
ULVAC爱发科 |
W300 EX |
- |
As-is Multi-ch(8ch)Sputtering |
国外
|
|
AMAT Producer-GT CVD |
AMAT应用材料 |
Producer-GT CVD |
- |
As-is |
国外
|
|
TEL MARK-VZ涂胶显影机 |
TEL |
MARK-VZ |
- |
As-is 2C2D |
国外
|
|
AMSL XT760F KrF Scanner |
AMSL |
XT760F KrF Scanner |
- |
As-is |
国外
|
|
AMAT mirra MESA CMP |
AMAT应用材料 |
mirra MESA CMP |
- |
FULL REPUB |
国外
|
|
EBARA EPO 222 CMP |
EBARA |
EPO-222 CMP |
- |
As-is |
国外
|
|
Oxford Plasmalab System 100 RIE+PECVD |
OXFORD牛津 |
Plasmalab System 100 RIE+PECVD |
- |
As-is |
国外
|
|
DNS SU3200 |
DNS |
SU3200 |
- |
FULL REPUB |
国外
|
|
DNS SK3000 |
DNS |
SK3000 |
- |
As-is |
国外
|
|
LAM RAINBOW 4420等离子刻蚀机 |
LAM泛林 |
RAINBOW 4420 |
- |
6" As-is |
国外
|
|
USHIO UX-4440 Aligner |
USHIO |
UX-4440 Aligner |
- |
As-is |
国外
|
|
CHA Revolution |
CHA |
Revolution |
- |
As-is |
国外
|
|
ULVAC EI-7K蒸发台 |
ULVAC爱发科 |
EI-7K |
- |
As-is |
国外
|
|
ULVAC EI-5K蒸发台 |
ULVAC爱发科 |
EI-5K |
- |
As-is |
国外
|
|
Plasma "Therm Versaline ICP-RIE #2 PSS I |
Plasma |
Therm Versaline ICP-RIE #2 PSS |
- |
6 As-is |
国外
|
|
ULVAC Chamber(5CH) |
ULVAC爱发科 |
Chamber(5CH) |
- |
12 As-is |
国外
|
|
EBARA F-REX300S CMP |
EBARA |
F-REX300S CMP |
- |
12" |
国外
|
|
AMAT P5000刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P5000 |
- |
8 REFURB |
国外
|
|
Maxis 300LA ICP |
Maxis |
300LA ICP |
- |
12 As-is |
国外
|
|
Nippon Sanso |
Nippon |
Sanso |
- |
6 As-is |
国外
|
|
Aixtron Crius II MOCVD设备 |
Aixtron |
Crius II |
- |
As-is |
国外
|
|
DISCO DFD641划片机 |
DISCO |
DFD641 |
- |
8 Working |
国外
|
|
Oxford Plasma Pro NGP1000 |
OXFORD牛津 |
Plasma Pro NGP1000 |
- |
12" As-is |
国外
|
|
AMAT P5000刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P5000 |
- |
FULL REPUB |
国外
|
|
TEL P-12XL Probe |
TEL |
P-12XL Probe |
- |
12" As-is |
国外
|
|
HITACHI HL7800M透射电镜 |
HITACHI |
HL7800M |
- |
As-is |
国外
|
|
HITACHI HL8000M |
HITACHI |
HL8000M |
- |
As-is |
国外
|
|
HITACHI S4800 II扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S4800 II |
- |
8 working |
国外
|
|
HITACHI S4700 II扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-4700 II |
- |
8 FULL REPUB |
国外
|
|
HITACHI S-4700 I扫描电子显微镜 |
HITACHI |
FESEM S4700 I |
- |
8 Working |
国外
|
|
HITACHI S-9260A扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-9260A |
- |
8 FULL REPUB |
国外
|
|
HITACHI S-9260A扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-9260A |
- |
8 As-is |
国外
|
|
TEL ACT12 Single Block |
TEL |
ACT12 Single Block |
- |
12 As-is |
国外
|
|
TEL ACT8 2C4D, Double Block |
TEL |
ACT8 2C4D,Double Block |
- |
8 working |
国外
|
|
NIKON NSR SF200光刻机 |
NIKON |
NSR-SF200 |
- |
6, 8 Initial Condition |
国外
|
|
NIKON NSR 207D光刻机 |
NIKON |
NSR-207D |
- |
6, 8 working |
国外
|
|
NIKON NSR 2205i12D光刻机 |
NIKON |
NSR-2205i12D |
- |
6-12" Initial Condition |
国外
|
|
NIKON NSR 2205i9C光刻机 |
NIKON |
NSR-2205i9C |
- |
6 Working |
国外
|
|
NIKON NSR 1505G7E光刻机 |
NIKON |
NSR-1505G7E |
- |
6 Working |
国外
|
|
NIKON NSR SF130光刻机 |
NIKON |
NSR-SF130 |
- |
12 REFURB |
国外
|
|
AMAT Amat Centura2 DSP |
AMAT应用材料 |
Amat Centura2 DSP |
- |
8 As-is |
国外
|
|
AMAT Centura Ultima HDP |
AMAT应用材料 |
Centura Ultima HDP |
- |
8 As-is |
国外
|
|
AMAT Centura Ultima |
AMAT应用材料 |
Centura Ultima |
- |
8 As-is |
国外
|
|
AMAT Centura2 DPS+ Poly Etch |
AMAT应用材料 |
Centura2 DPS+ Poly Etch |
- |
8 As-is |
国外
|
|
Aixtron Aix 2800G4 TM MOCVD设备 |
Aixtron |
Aix 2800G4 TM |
- |
4 working |
国外
|
|
EVG 510 Wafer bonder |
EVG |
510 Wafer bonder |
- |
4-6 working |
国外
|
|
AST PEVA-600I |
AST |
PEVA-600I |
- |
4-6 working |
国外
|
|
TEAMs ITO |
TEAMs |
ITO |
- |
4-6 working |
国外
|
|
Aixtron Aix200 MOCVD设备 |
Aixtron |
Aix200 |
- |
2 1998, R&D |
国外
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TEL ALPHA 8S |
TEL |
ALPHA 8S |
- |
8 As-is |
国外
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Hamai |
Hamai |
- |
- |
12 As-is |
国外
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Peter Wolters AC-1500P |
Peter Wolters |
AC-1500P |
- |
12 Overhaul Condition |
国外
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BBS E-450 Prime |
BBS |
E-450 Prime |
- |
8 As-is |
国外
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LEICA INM300 |
LEICA |
INM300 |
- |
8 As-is |
国外
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KLA P-15单向节流阀 |
KLA科磊 |
P-15 |
- |
8 As-is |
国外
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KLA PHX DF 5.0 |
KLA科磊 |
PHX DF 5.0 |
- |
8 As-is |
国外
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KLA Ultrascan 9300 |
KLA科磊 |
Ultrascan 9300 |
- |
8 As-is |
国外
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KLA Ultrascan 9000光测量系统 |
KLA科磊 |
Ultrascan 9000 |
- |
8 As-is |
国外
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KLA AFS-3220 |
KLA科磊 |
AFS-3220 |
- |
8 As-is |
国外
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KLA Surfscan SP3晶圆缺陷检测 |
KLA科磊 |
SP3 |
- |
6-12 As-is |
已售出
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KLA Surfscan SP1 DLS晶圆检测仪 |
KLA科磊 |
SP1-DLS |
- |
6-12 As-is |
国外
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HITACHI RS-5500扫描电子显微镜 |
HITACHI |
RS-5500 |
- |
8 Initial Condition |
国外
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TEL ACT12 |
TEL |
ACT12 |
- |
12 Parts MC |
国外
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NIKON NSR 4425光刻机 |
NIKON |
NSR-4425 |
- |
6,9 Initializing |
国外
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NIKON NSR 2205i11D光刻机 |
NIKON |
NSR-2205i11D |
- |
6,8 Initializing |
国外
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NIKON NSR S204B分步投影光刻机 |
NIKON |
NSR-S204B |
- |
- |
国内
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NIKON NSR S203B光刻机 |
NIKON |
NSR-S203B |
- |
6,8 Initial Condition |
国外
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TEL MARK7涂胶显影机 |
TEL |
MARK7 |
- |
6 As-is 1C2D |
国外
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AMAT P5000 PLIS刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P5000 PLIS |
- |
翻新机Standard TEOS USG x3 Chamber |
国外
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DNS SK80A 2C 1D |
DNS |
SK80A 2C 1D |
- |
8 REFURB |
国外
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DNS SK80BW 3C3D |
DNS |
SK80BW 3C3D |
- |
8 As-is |
国外
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TEL 8S-E POLC3 |
TEL |
8S-E POLC3 |
- |
6,8 working |
国外
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AXCELIS NV-GSD-80 |
AXCELIS |
NV-GSD-80 |
- |
6,8 REFURB |
国外
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NIKON NSR SF130光刻机 |
NIKON |
NSR-SF130 |
2004 |
韩国入库,以packing状态保管在洁净室中
setting好& |
国外
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NIKON NSR S204B分步投影光刻机 |
NIKON |
NSR-S204B |
- |
有2台已翻新+安装调试+质保
在韩国 |
国外
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HITACHI S-4700扫描电子显微镜 |
HITACHI |
S-4700 |
2001 |
- |
国外
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DISCO DFL7340全自动激光切割机 |
DISCO |
DFL7340 |
2010/11 |
有2台; |
已售出
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