GASS立式甩干机是高洁净度冲洗甩干设备, 具有高洁净冲洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特点，不同晶圆尺寸，可通过快速更换转子来实现。是湿法清洗工艺的主要设备，设备本身有单腔室和双腔室2种结构，体型小运行平稳。其主要用于2-8英寸半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的高洁净度冲洗及干燥工艺。
GASS立式甩干机设备特点
· 可以快速拆卸更换转子；
· 采用直驱式高性能无刷电机；
· 设备正常稳定工作时间≥95%，碎片率低于千分之一；
· 颗粒度增加值 <10 (0.3 micron)，甩干后表面无水渍、无污染物；
· 整机采用进口PFA/PVDF/PTFE管件/喷嘴；
· 气动控制部件采用进口SMC压力开关/电磁阀；
· 电源主空气开关带漏电保护；
· 当设备出现异常时,按急停按钮可停机；
· 动力条件监测及报警；
· 加热系统超温保护；
· 门禁/摆正监测报警。
技术参数
|
设备结构 |
单腔室 |
|
自动化程度 |
全自动 |
|
清洗对象 |
2-8寸晶片 |
|
清洗能力 |
单腔室2-8寸/1篮，25片/蓝 双腔室2-8寸/2篮，25片/蓝 |
|
配套花篮 |
对应转子同尺寸Entegris(25pcs)花篮（可订制） |
|
配套转子 |
对应标准尺寸Entegris(25pcs)花篮（可订制） |
|
马达额定转速 |
300-2800转/min，马达最高转速：3000转/min |
|
电气控制方式 |
人机界面+ PLC可编程控制器（最多可存储10套程序，每套程序8个步骤）可显示并记录最近10条报警内容 |
|
设备外形尺寸 |
PS-1600：单腔室-长X宽X高(单位mm)= 720X450X1510 双腔室-长X宽X高(单位mm)= 820X450X1810
PS-1800：单腔室-长X宽X高(单位mm)= 760X520X1630 双腔室-长X宽X高(单位mm)= 860X520X1830 |
|
修面速度 |
0-250mm/min |
|
外形尺寸 |
1050mm x 1600mm x 1700mm |
|
设备重量 |
1800kg |
|
