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采用模块化设计,广泛应用于集成电路领域,先进的清洗工艺有效去除了晶片表面的细微颗粒物、金属残留、光刻胶残留物等问题。高精度全自动配药系统,可针对不同工艺要求对药液比例精准配比。![]() |
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采用模块化设计,广泛应用于集成电路领域,先进的清洗工艺有效去除了晶片表面的细微颗粒物、金属残留、光刻胶残留物等问题。高精度全自动配药系统,可针对不同工艺要求对药液比例精准配比。![]() |
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