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VGF单晶炉 双腔甩干机 ALD原子层沉积设备 高真空多靶磁控溅射镀膜机
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半导体设备
 
名称:低温立式炉
类别:热处理设备
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详细介绍
主要应用于:半导体高精度低温热处理工艺。针对于热处理中温度低且精度高的工艺环节。