名称：高真空多靶磁控溅射镀膜机 类别：真空设备 制造商：- 设备型号：- 制造日期：- 人气： 在 线 咨 询

详细介绍

主要由镀膜腔室（φ500×H430mm），永磁圆形平面靶，真空系统，旋转加热基片台，气路系统，电气控制及报警保护系统等组成。