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名称:
TOKYO 蚀刻装置TCE-3822
类别:
半导体设备(预处理)
制造商:
TOKYO OHKA KOGYO
设备型号:
TCE-3822
制造日期:
2011
人气:
在 线 咨 询
详细介绍
制造商:TOKYO OHKA KOGYO
型号:TCE-3822
制造日期:2011
规格参数:
序列号T-1109735
电源3相200V 125A 60Hz
1/2蚀刻装置主体Φ125晶圆兼容2个石英腔
2/2控制架KYOSAN匹配控制器
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