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名称:
SEMITOOL旋转漂洗干燥机SRD4300S
类别:
半导体设备(预处理)
制造商:
SEMITOOL
设备型号:
SRD4300S
制造日期:
1997
人气:
在 线 咨 询
详细介绍
制造商:SEMITOOL
型号:SRD4300S
制造日期:1997
规格参数
晶圆尺寸4", 5", 6", 8"
旋转体内径(约)φ200mm
外形尺寸W550*D810*H1520
输入AC208V1φ 50/60Hz
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