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制造商:Canon
型号:FPA-2000i1
规格参数:
步阶器6英寸
晶圆类型半平面
硅片夹头LC环形卡盘
轨道接口DNS
自动进纸器(在线方向)
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制造商:Canon
型号:FPA-2000i1
规格参数:
步阶器6英寸
晶圆类型半平面
硅片夹头LC环形卡盘
轨道接口DNS
自动进纸器(在线方向)
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