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名称：Nikon晶圆步阶器NSR-1505G4
类别：国外二手半导体设备
制造商：Nikon
设备型号：NSR-1505G4
制造日期：-
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详细介绍
制造商：Nikon
型号：NSR-1505G4
规格参数：
5x reduction
5" reticle, 4" wafers
g-line UV
better than 750 nm resolution
better than 750 nm resolution
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