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制造商：SCREEN
型号：SK-60EX
制造日期：2013
序列号：V70V00008A
规格参数：晶圆尺寸150mm-200mm
1.继承畅销产品60系列的良好记录和可靠性
60EX继承了60系列所支持的“高可靠性设计理念”，并取得了许多成就。我们为您的环境提供灵活稳定的性能。此外，我们将遵循迄今为止在60系列中培养的技术，并改进其功能以支持高级领域和特殊应用程序的功能。
2.更新为可以安全支持未来扩展性的控制系统
60系列在不断发展。我们更新了控制系统，以便您将来可以放心使用。该系统增强功能可以在不断发展的电子设备制造中灵活，迅速地响应新需求。
3.保持与60系列的基本兼容性
在扩展操作环境和屏幕配置的同时，配方创建的基本思想已经标准化，为已经习惯于操作60系列的用户提供了一个友好的环境。
此外，保持了工艺配方数据与60系列的兼容性，从而确保了到60/80 EX的良好可移植性。支持顺利的扩展计划。
4.灵活支持各种板
提供了多种优化选择选项，例如薄晶圆、厚基板、Altic・铁氧体磁性材料基板、玻璃基板、LT基板、蓝宝石基板和双面图案化基板。从组合来看，它对应于各种各样的板。
5.通过先进技术开发培养的功能支持
在多样化的电子设备的开发中需要先进的处理功能时，我们提供各种选择选项并为实现该过程提供各种支持。
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