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名称：TOKYO 蚀刻装置TCE-3822
类别：国外二手半导体设备
制造商：TOKYO OHKA KOGYO
设备型号：TCE-3822
制造日期：2011
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详细介绍
制造商：TOKYO OHKA KOGYO
型号：TCE-3822
制造日期：2011
规格参数：
序列号T-1109735
电源3相200V 125A 60Hz
1/2蚀刻装置主体Φ125晶圆兼容2个石英腔
2/2控制架KYOSAN匹配控制器
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