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制造商:Panasonic
型号:E620I
制造日期:2013
装置尺寸(W*D*H):1000*2500*2000mm
装置重量:1550Kg
機械仕様:
Wafer size:150mm 三相200V 75A 単相100V 75A EBARAドライポンプ付属 SR20 s/nDFB03284 取説・仕様書有
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制造商:Panasonic
型号:E620I
制造日期:2013
装置尺寸(W*D*H):1000*2500*2000mm
装置重量:1550Kg
機械仕様:
Wafer size:150mm 三相200V 75A 単相100V 75A EBARAドライポンプ付属 SR20 s/nDFB03284 取説・仕様書有
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