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名称：CANON ANELVA 真空蚀刻设备(ECR)L-310R-E
类别：国外二手半导体设备
制造商：CANON ANELVA
设备型号：L-310R-E
制造日期：1999-12
人气：
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详细介绍
制造商：CANON ANELVA
型号：L-310R-E
制造日期：1999-12
规格参数：
批量方式
晶圆尺寸4寸
材料尺寸100mm
蚀刻性能80mm/min以上
精度Φ80mm范围内5％ (用于Sio2)
电源3φ 200V 80A
频率50/60Hz
水压0.5MPa 10L/min
空压0.6MPa
重量1.0t
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