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名称：CANON ANELVA 干蚀刻设备RIEEtcher DEA-506 OH
类别：国外二手半导体设备
制造商：CANON ANELVA
设备型号：DEA-506 O/H
制造日期：1992-03
人气：
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详细介绍
制造商：CANON ANELVA
型号：DEA-506 O/H
生产日期：1992-03
機械仕様：
RF電源 アネルバ PRF-153B 周波数 50/60HZ
高周波出力 最大1.0KW 周波数 13.56MHZ
本体(1/2) RFジェネレーター(2/2)　EVP-16010、EVP-0302A
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