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制造商:TOKYO OHKA
型号:TCE-2400
制造日期:1998
规格参数:
晶圆尺寸5英寸
盒式3/16英寸间距25件
1kwRF发生器
输入3φ200V40A
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制造商:TOKYO OHKA
型号:TCE-2400
制造日期:1998
规格参数:
晶圆尺寸5英寸
盒式3/16英寸间距25件
1kwRF发生器
输入3φ200V40A
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