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制造商:Hitachi Kokusai Electric
型号:DD-812V
制造日期:2007
装置尺寸(W*D*H):950*1400*200mm
装置重量:1,500Kg
Wafer size:150mm
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制造商:Hitachi Kokusai Electric
型号:DD-812V
制造日期:2007
装置尺寸(W*D*H):950*1400*200mm
装置重量:1,500Kg
Wafer size:150mm
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