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名称：samco液体原料CVD设备PD-200STP
类别：国外二手半导体设备
制造商：samco
设备型号：PD-200STP
制造日期：2010
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详细介绍
制造商：samco
型号：PD-200STP
生产日期：2010
规格参数：
TEOS CVD 电源3相 200V 50A
电源单相 200V 40A
频率50Hz(以60Hz进行操作检查)
机身W1370 D1800 H2000 1000Kg(机械增压泵)
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