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名称：CANON ANELVA溅射设备C-7500L
类别：国外二手半导体设备
制造商：CANON ANELVA
设备型号：C-7500L
制造日期：1998-12
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详细介绍
制造商：CANON ANELVA
型号：C-7500L
EVP：33043
生产日期：1998年12月
规格参数：
电力3φ 220V 60A
水量0.2-0.3MPa 5L/min
水量阴极 0.2MPa 20L/min
频率50/60Hz
气压0.5-0.8MPa
质量1.8t
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