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制造商:CANON ANELVA
型号:C-7960FL
制造日期:1998
装置尺寸(W*D*H):2300*1500*2350mm
Wafer size:150mm
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制造商:CANON ANELVA
型号:C-7960FL
制造日期:1998
装置尺寸(W*D*H):2300*1500*2350mm
Wafer size:150mm
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