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制造商:CANON ANELVA
型号:L-501S-FHL
制造日期:2004-11
装置尺寸(W*D*H):1216*1030*1930mm
装置重量:2500Kg
Wafer size:150mm
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制造商:CANON ANELVA
型号:L-501S-FHL
制造日期:2004-11
装置尺寸(W*D*H):1216*1030*1930mm
装置重量:2500Kg
Wafer size:150mm
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