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名称：ULVAC溅射设备SME-200U
类别：国外二手半导体设备
制造商：ULVAC
设备型号：SME-200U
制造日期：2006
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详细介绍
制造商：ULVAC
型号：SME-200U
制造日期：2006
序列号：MA05-1056-0
规格参数：
INPUTPHASE3φ
INPUTFREQUENCY60Hz
INPUTVOLTAGE200V±10%
INPUTPOWER36.0kVA
INPUTCURRENT104.1A
Wafer Size6 inch
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