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名称：CANON ANELVA溅射设备E-402S
类别：国外二手半导体设备
制造商：CANON ANELVA
设备型号：E-402S
制造日期：2010
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详细介绍
制造商：CANON ANELVA
型号：E-402S
制造日期：2010
规格参数：
电力3φ 200V 150A
频率50/60Hz
水体0.35MPa 40L/min
气动0.7MPa
质量2.5t
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