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二手半导体设备

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国外二手半导体设备

名称：CANON ANELVA 溅射设备E-401S

类别：国外二手半导体设备

制造商：CANON ANELVA

设备型号：E-401S

制造日期：2008-06

人气：

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详细介绍

制造商：CANON ANELVA

型号：E-401S

制造日期：2008-06

规格参数：

膜厚分布φ在220内±10%

基板加热φ220内650℃±20℃(max800℃)

2台涡旋泵

冷却器RKE1500B-VW

输入3φ200

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