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名称：SHIBAURA溅镀装置(DVD)COAT-5000
类别：国外二手半导体设备
制造商：SHIBAURA
设备型号：COAT-5000
制造日期：-
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详细介绍
制造商：SHIBAURA
型号：COAT-5000
规格参数：
电源25.4kVA 200V 73.3A 50Hz 三相
外形尺寸W550×D865×H1360
包括附件的尺寸W730×D865×H1360
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