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名称：ULVAC批量式溅射设备(PVD)SV-200
类别：国外二手半导体设备
制造商：ULVAC
设备型号：SV-200
制造日期：2000-12
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详细介绍
制造商：ULVAC
型号：SV-200
制造日期：2000-12
规格参数：
目标大小φ101.6×6mm
基板尺寸最大外径φ200mm
基板可安装张数1
飞溅电源DC电源
电源电压AC200v 13kvA
装置外寸650×1200×1400/570×820×1600
工作尺寸玻璃板φ200 1.1mm/晶圆8inch725nm
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