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名称：CANON ANELVA溅射设备SPL-500
类别：国外二手半导体设备
制造商：CANON ANELVA
设备型号：SPL-500
制造日期：-
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详细介绍
制造商：CANON ANELVA
型号：SPL-500
规格参数：
6英寸 腐蚀阴极 3个
侧溅射系统最高温度300°C
基板加热机构
基板清洁机构
基板冷却机构（气体冷却）
基板支架 φ420 3φ200V 50
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