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制造商:CANON ANELVA
型号:C-3103
制造日期:1996
装置尺寸(W×D×H):2880×1550×2150mm
機械仕様:
Wafer size:150mm ターゲットサイズ:6インチ、 ターゲット数:8 スパッタ用電源:RF/DC電源 EVP-30458 要現物確認
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制造商:CANON ANELVA
型号:C-3103
制造日期:1996
装置尺寸(W×D×H):2880×1550×2150mm
機械仕様:
Wafer size:150mm ターゲットサイズ:6インチ、 ターゲット数:8 スパッタ用電源:RF/DC電源 EVP-30458 要現物確認
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