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名称：CANON ANELVA溅射设备I-1060SVⅡ PLUS1
类别：国外二手半导体设备
制造商：CANON ANELVA
设备型号：I-1060SVⅡ PLUS1
制造日期：2000-04
人气：
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详细介绍
制造商：CANON ANELVA
型号：I-1060SVⅡ PLUS1
制造日期：2000-04
機械仕様：
φ125mm仕様　3φ200V 150A L2 セラミック輻射型 200～300℃ L3 セラミックガス加熱 250～330℃ R3 セラミックガス加熱 350～500℃ R1 ランプ輻射型
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