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名称：CANON ANELVA等离子CVD装置L-301P
类别：国外二手半导体设备
制造商：CANON ANELVA
设备型号：L-301P
制造日期：1999-10
人气：
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详细介绍
制造商：CANON ANELVA
型号：L-301P
制造日期：1999-10
装置尺寸(W×D×H)：1330×1290×1820mm
装置重量：700Kg
機械仕様：
本体 L-301P 電力 三相 200V 50A 50/60Hz 水量本体 0.3MPa 6L/min 空圧 0.6MPa
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