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名称：SEMITOOL旋转漂洗干燥机SRD4300S
类别：国外二手半导体设备
制造商：SEMITOOL
设备型号：SRD4300S
制造日期：1997
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详细介绍
制造商：SEMITOOL
型号：SRD4300S
制造日期：1997
规格参数
晶圆尺寸4", 5", 6", 8"
旋转体内径（约）φ200mm
外形尺寸W550*D810*H1520
输入AC208V1φ　50/60Hz
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