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名称:
退火炉DSI立式退火炉MA-150V
类别:
半导体设备(预处理)
制造商:
DSITechnology
设备型号:
MA-150V
制造日期:
2007-08-21
人气:
在 线 咨 询
详细介绍
制造商:DSITechnology
型号:MA-150V
造日期:2007-08-21
规格参数:
处 理 量:6英寸25张(间距4.76mm)
最高温度:1000℃
操作温度:200~900℃
输入电源:18kVA. 3φ 200V 50Hz
输入电源:2kVA. 1φ 100V 50Hz
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