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制造商：ULVAC
型号：RTA-3030
主体尺寸(W*D*H)
950*1,050*1,800mm
控制器尺寸(W*D*H)
570*880*1,340mm
干泵尺寸(W*D*H)
380*880*425mm
機械仕様：
3φ 200V 150A プレッシャーコントローラー ドライポンプ TC付ガラス基板付属
設定温度:Max 400℃
ワーク寸法:300×350
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