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制造商：Koyo
型号：VF-3000
制造日期：2007
规格参数：
机体尺寸(mm)1200(W)*1450(D)*2610(H)
加热器LGO加热器
均热长度(mm)350～500
晶圆尺寸(mm)～Φ200
最多可处理张数75张
I/O端口四个
卡式储存四个
晶圆搬运单叶
选项强制冷却系统、N2负载锁、可以用于两种晶圆尺寸
用途氧化・扩散・CVD、活化退火处理
处理对象氮化物(Si3N4)、掺杂的多晶硅(D-Poly-Si)
加工产品硅晶片、薄晶片(用于功率器件)
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