| 图 片 |
设备名称 |
制造商 |
型号 |
年份 |
详细配置 |
状 态 |
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LAM RAINBOW 4520i干法刻蚀机 |
LAM |
4520i |
2000 |
设备完整不缺件,在美国仓库中; |
国外
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LAM RESEARCH 9400等离子刻蚀机 |
LAM |
9400 |
2000 |
设备完整不缺件,在美国仓库中; |
国外
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LAM TE490干法刻蚀机 |
LAM |
TE490 |
- |
6" |
国内
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LAM TE490干法刻蚀机 |
LAM |
TE490 |
- |
6" |
国内
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LAM 2300 Exelan Flex蚀刻机 |
LAM |
2300 Exelan Flex |
- |
4室Ath-1600涡轮增压+交流箱; |
国内
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LAM C2 Triple SPEED气相沉积 |
LAM |
C2 Triple SPEED |
- |
设备完整不缺件; |
国外
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LAM 2300 Exelan Flex45 ICP蚀刻机 |
LAM |
2300 Exelan Flex45 |
- |
设备型号：2300 Exelan Flex 45
类型：ICP蚀 |
国外
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LAM RAINBOW 4520XL干法刻蚀机 |
LAM |
4520XL |
- |
- |
国外
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LAM RAINBOW 4420等离子刻蚀机 |
LAM泛林 |
RAINBOW-4420 |
1994 |
设备完整不缺件,目前在亚洲.
ISO蚀刻
晶圆尺寸200 mm |
已售出
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LAM RAINBOW 4520XL干法刻蚀机 |
LAM泛林 |
4520XL |
2000 |
热机运行中,但风扇需要更换. |
国外
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LAM 490B干法刻蚀机 |
LAM泛林 |
490B |
- |
备件机 6" |
国内
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LAM 490B干法刻蚀机 |
LAM泛林 |
490B |
- |
备件机 6" |
国内
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LAM SEZ203晶圆旋转刻蚀机 |
LAM泛林 |
SEZ203 |
- |
- |
已售出
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LAM RAINBOW 4420等离子刻蚀机 |
LAM泛林 |
RAINBOW 4420 |
- |
6" As-is |
国外
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LAM RESEARCH 2300多晶硅蚀刻机 |
LAM泛林 |
2300 |
2005 |
missing parts缺件:
Load port 1 mis |
已售出
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LAM RESEARCH 9400 SE等离子刻蚀机 |
LAM泛林 |
9400 SE |
1997 |
整机完整不缺件 |
国外
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LAM TCP9400氮化镓刻蚀机 |
LAM泛林 |
TCP9400(备用机) |
2018-12-24 |
260台设备可打包或单独出售; |
已售出
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LAM Chambers for Altus, 12 |
LAM泛林 |
Chambers for Altus, 12 |
- |
- |
国外
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LAM RESEARCH EOS |
LAM泛林 |
RESEARCH EOS |
- |
- |
国外
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LAM ONE-W PLASMA CVD_W |
LAM泛林 |
ONE-W |
1995 |
CVD |
国外
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LAM TWO PLASMA CVD |
LAM泛林 |
TWO |
2000 |
CVD |
国外
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LAM TWO Speed PLASMA CVD |
LAM泛林 |
TWO Speed |
2000 |
CVD |
国外
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LAM RST201刻蚀机 |
LAM泛林 |
RST201 |
1996 |
WET |
国外
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LAM RST201刻蚀机 |
LAM泛林 |
RST201 |
1997 |
WET |
国外
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LAM SEZ203晶圆旋转刻蚀机 |
LAM泛林 |
SEZ203 |
2005 |
WET |
国外
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LAM RAINBOW 4420等离子刻蚀机 |
LAM泛林 |
RAINBOW 4420 |
- |
6" As-is |
国外
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LAM Synergy CMP |
LAM泛林 |
Synergy |
1997 |
- |
国外
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LAM(Novellus) Vector Express CVD |
LAM(Novellus) |
Vector Express |
2011 |
CVD34x, underutilized at FAB8, us |
国外
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LAM(Novellus) Vector Express CVD |
LAM(Novellus) |
Vector Express |
2011 |
- |
国外
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LAM(Novellus) Vector CVD |
LAM(Novellus) |
Vector |
2005 |
Vector RPC |
国外
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LAM(Novellus) Vector Express CVD |
LAM(Novellus) |
Vector Express |
2004 |
PESINn PETEOS, Loadport_Fixload 6 |
国外
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LAM Strip45 Chamber Etch |
LAM泛林 |
Strip45 Chamber |
2010 |
Strip45 chamber only |
国外
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LAM Strip45 Chamber Etch |
LAM泛林 |
Strip45 Chamber |
2010 |
Strip45 chamber only |
国外
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LAM Strip45 Chamber Etch |
LAM泛林 |
Strip45 Chamber |
2010 |
Strip45 chamber only, Revolution |
国外
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LAM(Novellus) Vector SOLA xT CVD |
LAM(Novellus) |
Vector SOLA xT |
2011 |
UV Cure |
国外
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LAM(Novellus) Vector CVD |
LAM(Novellus) |
Vector |
2004 |
- |
国外
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页次：
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