龙玺精密-为您提供旋转漂洗干燥机设备买卖+翻新全套解决方案
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编 号:1798 (发布时间:2021.10.1) |
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名 称:旋转漂洗干燥机 |
厂 商:SEMITOOL |
型 号:SRD-470S |
年 份:- |
状 态:国外 |
SRD-470S1、电源电压:1相100V 18A
2、频率:50/60 Hz
3、N2流量:125~216L/min
4、纯水流量:5.7~7.6L/min
5、N2、纯水管径:3/8
6、排气、机柜排气、排水管:VP20、VP30、VP20
7、晶圆尺寸:3英寸
8、控制器:PSC-101 |
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