| 龙玺精密-为您提供CANON L-310R-E真空蚀刻设备(ECR)设备买卖+翻新全套解决方案
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| 编 号：1826 (发布时间:2021.10.1) |
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| 名 称：CANON L-310R-E真空蚀刻设备(ECR) |
| 厂 商：CANON |
| 型 号：L-310R-E |
| 年 份：1999 |
| 状 态：国外 |
L-310R-E设备名称：真空蚀刻设备(ECR)
型号：L-310R-E
制造商：CANON ANELVA
年份：1999
机械规格：
材料尺⼨ 100 毫⽶(不确定形式)批处理型蚀刻性能 80 毫⽶/分钟或更⾼Φ80 毫⽶内的精度 5％(⽤于 Sio2) |
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