龙玺精密-为您提供NIKON NSR 1505G7E光刻机设备买卖+翻新全套解决方案
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编 号:2259 (发布时间:2022.5.24) |
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名 称:NIKON NSR 1505G7E光刻机 |
厂 商:NIKON |
型 号:NSR-1505G7E |
年 份:1990 |
状 态:国外 |
NSR-1505G7ENIKON NSR 1505 G7E Stepper, 6"
R134 included
(2) Carriers with (25) wafers
Si-wafer with SEMI-flat
13-Slots
Reticles: 90 mil
Exposure field: 15-15 mm
Reticle: 75 mm
Integrator: 500 mW/cm2
436 nm (G-line)
reduction: 5x
NA: ~0.54
Coolant climate chamber: 21.0°C
Camera upgraded to PMT
LSA and WGA
Operating system: Windows NT
1990 vintage. |
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