| 龙玺精密-为您提供AMAT PRODUCER GT化学气相沉积设备买卖+翻新全套解决方案
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| 编 号：2331 (发布时间:2022.7.16) |
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| 名 称：AMAT PRODUCER GT化学气相沉积 |
| 厂 商：AMAT应用材料 |
| 型 号：PRODUCER GT |
| 年 份：2007 |
| 状 态：国外 |
PRODUCER GT晶圆尺寸：300mm
生产者 GT： 配置
FI：5.4
服务器：IBM 306m FI
机器人：Kawasaki x2ea FI
机器人控制器：Kawasaki x2ea(型号：30D61H-A203)
加载端口：4 端口
主机配置 处理室： 室 A：SICONI 室 B：SICONI 室 C：SICONI 本地中心查找器：是 Xfer 机器人：是
腔室配置：腔室-A 和 B 和 C：加热器：陶瓷加热器 x2ea 盖子：是 挡板：待定 面板：待定 压力计：10/100 Torr/10Torr
子单元：显示器机架 x2set DVR x1set AC 机架 x1ea 零件盒 x3ea
备注：缺少的部分：热交换器(箱体用)x1set、硬盘. |
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