| 龙玺精密-为您提供LAM RAINBOW 4420等离子刻蚀机设备买卖+翻新全套解决方案
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| 编 号：3839 (发布时间:2024.3.29) |
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| 名 称：LAM RAINBOW 4420等离子刻蚀机 |
| 厂 商：LAM泛林 |
| 型 号：RAINBOW-4420 |
| 年 份：1994 |
| 状 态：已售出 |
RAINBOW-4420设备完整不缺件,目前在亚洲.
ISO蚀刻
晶圆尺寸200 mm
Fab截面蚀刻
软件版本1.5版
CIM-SECS
工艺CMOS
主系统LAM 4420 ETHER 1
处理器系统谐波臂2
工厂接口SMIF 2
LL泵1
TCU 2080 1
AC机架1
PC泵1 |
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