| ID |
设备名称 |
制造商 |
型号 |
年份 |
详细配置 |
状 态 |
| 4111 |
AMAT P-5000 PECVD刻蚀机 |
AMAT |
P-5000 |
1999 |
美国6"2腔 |
国外
|
| 4110 |
AMAT P-5000 DRY ETCH刻蚀机 |
AMAT |
P-5000 |
1999 |
美国6"ESC 2腔 |
国外
|
| 4024 |
AMAT mirra MESA CMP |
AMAT |
mirra MESA CMP |
2002 |
设备完整不缺件,已翻新在国内; |
国外
|
| 4021 |
AMAT Endura II气相沉积 |
AMAT |
Endura II |
- |
有2台现货; |
国内
|
| 4020 |
AMAT Endura CL Mainframe气相沉积 |
AMAT |
Endura CL Mainframe |
- |
1台主机+IMP舱室+2个舱室+1台EFEM |
国内
|
| 4019 |
AMAT CENTRIS MESA ETCH沉积蚀刻 |
AMAT |
CENTRIS MESA ETCH |
- |
有2台现货(1个主机+3个双室,射频机器人涡 |
国内
|
| 4003 |
AMAT Endura II PVD 9个腔室气相沉积 |
AMAT |
Endura II PVD 9 |
2007 |
设备完整不缺件,目前设备在韩国仓库,12"; |
国外
|
| 4002 |
AMAT Endura II PVD 8个腔室气相沉积 |
AMAT |
Endura II PVD 8 |
2007 |
设备完整不缺件,目前设备在韩国仓库,12"; |
国外
|
| 3925 |
AMAT P5000刻蚀机 |
AMAT |
P5000 |
- |
设备完整不缺件,有现货1台; |
国内
|
| 3918 |
AMAT Centura 5200刻蚀机 |
AMAT |
Centura 5200 |
- |
设备完整不缺件,8英寸3腔表观系统. |
国外
|
| 3798 |
AMAT P5000刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P5000 |
1996 |
CVD 3chamber;nitride
|
国外
|
| 3735 |
AMAT 8330干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
- |
刻AL;18片/炉;最大1801W;机械手传 |
国内
|
| 3734 |
AMAT 8330干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
1988.8 |
刻AL;18片/炉;最大1800W;机械手传 |
国内
|
| 3733 |
AMAT 8330干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
1990.2 |
刻AL;18片/炉;最大1800W;机械手传 |
国内
|
| 3732 |
AMAT 8310干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8310 |
- |
刻AL;18片/炉;最大1802W;机械手传 |
国内
|
| 3731 |
AMAT 8310干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8310 |
1992.6 |
刻压点;18片/炉;最大1800W;机械手传 |
国内
|
| 3730 |
AMAT 8310干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8310 |
1991.5 |
刻压点;18片/炉;最大1800W;机械手传 |
国内
|
| 3729 |
AMAT 8330干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
1990.5 |
刻AL;18片/炉;最大1800W;机械手传 |
国内
|
| 3728 |
AMAT 8330干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
1990.7 |
刻AL;18片/炉;最大1800W;机械手传 |
国内
|
| 3727 |
AMAT 8330干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
1990.7 |
刻AL;18片/炉;最大1800W;机械手传 |
国内
|
| 3726 |
AMAT 8330干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
1991.4 |
刻AL;18片/炉;最大1800W;机械手传 |
国内
|
| 3725 |
AMAT 8310干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8310 |
1988.6 |
刻压点;18片/炉;最大1800W;机械手传 |
国内
|
| 3724 |
AMAT AMS-2100干法刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
AMS-2100 |
- |
热机 |
国内
|
| 2664 |
AMAT 8310刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8310 |
1988.6 |
在购热机 6" 刻压点;18片/炉;最大18 |
国外
|
| 2663 |
AMAT 8330刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
1991.4 |
在购热机 6" 刻AL;18片/炉;最大18 |
国外
|
| 2662 |
AMAT 8330刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
1990.7 |
在购热机 6" 刻AL;18片/炉;最大18 |
国外
|
| 2661 |
AMAT 8330刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
1990.7 |
在购热机 6" 刻AL;18片/炉;最大18 |
国外
|
| 2660 |
AMAT 8330刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
1990.5 |
在购热机 6" 刻AL;18片/炉;最大18 |
国外
|
| 2658 |
AMAT 8310刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8310 |
1991.5 |
在购热机 6" 刻压点;18片/炉;最大18 |
国外
|
| 2657 |
AMAT 8310刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8310 |
1992.6 |
在购热机 6" 刻压点;18片/炉;最大18 |
国外
|
| 2656 |
AMAT 8330刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
1990.2 |
在购热机 6" 刻AL;18片/炉;最大18 |
国外
|
| 2655 |
AMAT 8330刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
8330 |
1988.8 |
在购热机 6" 刻AL;18片/炉;最大18 |
国外
|
| 2524 |
AMAT 8330刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
AMAT 8330 |
|
6" |
国内
|
| 2523 |
AMAT 8110刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
AMAT 8110 |
|
6" |
国内
|
| 2471 |
AMAT AMC 7811 RTP外延炉 |
AMAT |
AMC-7811 |
- |
6"有8台 |
国内
|
| 2470 |
AMAT 7700外延炉 |
AMAT应用材料 |
7700 |
- |
6" |
国内
|
| 2427 |
AMAT MATERIALS CENTURA ENABLER |
AMAT应用材料 |
MATERIALS CENTURA ENABLER |
2008 |
System
AC Rack
M |
国外
|
| 2425 |
AMAT MATERIALS Centura HTF EPI System |
AMAT应用材料 |
MATERIALS Centura HTF EPI Syst |
- |
美国已下线 |
国外
|
| 2423 |
AMAT P5000刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P5000 |
- |
8'' CVD |
国外
|
| 2413 |
AMAT Producer-GT CVD |
AMAT应用材料 |
Producer-GT CVD |
- |
As-is |
国外
|
| 2410 |
AMAT mirra MESA CMP |
AMAT应用材料 |
mirra MESA CMP |
- |
FULL REPUB |
国外
|
| 2397 |
AMAT P5000刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P5000 |
- |
8 REFURB |
国外
|
| 2391 |
AMAT P5000刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P5000 |
- |
FULL REPUB |
国外
|
| 2374 |
AMAT Amat Centura2 DSP |
AMAT应用材料 |
Amat Centura2 DSP |
- |
8 As-is |
国外
|
| 2373 |
AMAT Centura Ultima HDP |
AMAT应用材料 |
Centura Ultima HDP |
- |
8 As-is |
国外
|
| 2372 |
AMAT Centura Ultima |
AMAT应用材料 |
Centura Ultima |
- |
8 As-is |
国外
|
| 2371 |
AMAT Centura2 DPS+ Poly Etch |
AMAT应用材料 |
Centura2 DPS+ Poly Etch |
- |
8 As-is |
国外
|
| 2346 |
AMAT P5000 PLIS刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P5000 PLIS |
- |
翻新机Standard TEOS USG x |
国外
|
| 2331 |
AMAT PRODUCER GT化学气相沉积 |
AMAT应用材料 |
PRODUCER GT |
2007 |
晶圆尺寸：300mm
生产者 GT： 配置 |
国外
|
| 2330 |
AMAT PRODUCER GT化学气相沉积 |
AMAT应用材料 |
PRODUCER GT |
2008 |
晶圆尺寸：300mm
生产者GT：配置FI |
国外
|
| 2327 |
AMAT P5000刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P5000 |
- |
2CH / 3CH |
国外
|
| 2303 |
AMAT Vera SEM 3D测量系统 |
AMAT应用材料 |
Vera SEM 3D |
- |
Metrology |
国外
|
| 2302 |
AMAT Vera SEM 3D测量系统 |
AMAT应用材料 |
Vera SEM 3D |
- |
Metrology |
国外
|
| 2270 |
AMAT P5000刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P5000 |
1995 |
2 chambers CVD
3 cham |
国外
|
| 2261 |
AMAT Centura 5200刻蚀机 |
AMAT |
Centura 5200 |
- |
CVD System,6"(3)Chambe |
国外
|
| 2260 |
AMAT APPLIED MATERIALS Centura AP Minos |
AMAT应用材料 |
Centura AP Minos Polysili |
- |
- |
国内
|
| 1987 |
AMAT MATERIALS CENTURA AP MINOS |
AMAT应用材料 |
APPLIED MATERIALS CENTURA AP M |
- |
- |
国外
|
| 1981 |
AMAT 8310氧化物蚀刻器 |
AMAT应用材料 |
8310 |
- |
8" |
国外
|
| 1963 |
AMAT P5000刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P5000 |
- |
- |
国内
|
| 1704 |
AMAT AKT-3500 |
AMAT应用材料 |
AKT-3500 |
2018 |
CVD |
国外
|
| 1703 |
AMAT Centura DPS |
AMAT应用材料 |
Centura DPS |
1998 |
ETCH |
国外
|
| 1702 |
AMAT Centura DXZ |
AMAT应用材料 |
Centura DXZ |
1999 |
CVD |
国外
|
| 1701 |
AMAT Centura MXP |
AMAT应用材料 |
Centura MXP |
1997 |
ETCH |
国外
|
| 1700 |
AMAT Centura XE |
AMAT应用材料 |
Centura XE |
2003 |
RTP |
国外
|
| 1699 |
AMAT Centura XE+ |
AMAT应用材料 |
Centura XE+ |
2003 |
RTP |
国外
|
| 1698 |
AMAT P-5000刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P-5000 |
1990 |
CVD |
国外
|
| 1506 |
AMAT Centura DPS+ Poly Etch |
AMAT应用材料 |
Centura DPS+ Poly Etch |
- |
As-is |
国外
|
| 1505 |
AMAT Producer-GT CVD |
AMAT应用材料 |
Producer-GT CVD |
- |
As-is |
国外
|
| 1504 |
AMAT mirra MESA CMP |
AMAT应用材料 |
mirra MESA CMP |
- |
FULL REPUB |
国外
|
| 1503 |
AMAT P5000刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P5000 |
- |
8" REFURB |
国外
|
| 1502 |
AMAT P5000刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P5000 |
- |
FULL REPUB |
国外
|
| 1473 |
AMAT Centura DPS2 Metal |
AMAT应用材料 |
Centura DPS2 Metal |
2005 |
EFEM(NT, Yaskawa), 3x |
国外
|
| 1472 |
AMAT Centura Axiom Chamber |
AMAT应用材料 |
Centura Axiom Chamber |
2006 |
Axiom Only (w/VODM) |
国外
|
| 1464 |
AMAT P5000刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P5000 |
1988 |
CVD Mark1, 3x DLH |
国外
|
| 1461 |
AMAT Reflexion FA |
AMAT应用材料 |
Reflexion FA |
2005 |
CMP |
国外
|
| 1456 |
AMAT Vantage 5 |
AMAT应用材料 |
Vantage 5 |
2012 |
RTP |
国外
|
| 1426 |
AMAT Centura DPS2 Metal |
AMAT应用材料 |
Centura DPS2 Metal |
2005 |
EFEM(Server, Yaskawa), |
国外
|
| 1425 |
AMAT Producer GT CVD |
AMAT应用材料 |
Producer GT |
2011 |
3 Twin(HARP USG, RPC_F |
国外
|
| 1424 |
AMAT Producer GT Chamber CVD |
AMAT应用材料 |
Producer GT Chamber |
2010 |
1 Twin CH(ACL) only |
国外
|
| 1357 |
AMAT Centura Enabler Etch |
AMAT应用材料 |
Centura Enabler |
2007 |
- |
国外
|
| 1329 |
AMAT Centura Chamber Etch |
AMAT应用材料 |
Centura Chamber |
2010 |
2 x Minos, 1 x Carina, |
国外
|
| 1322 |
AMAT NanoSEM 3D Metrology |
AMAT应用材料 |
NanoSEM 3D |
2002 |
MULTIPLE UNITS AVAILAB |
国外
|
| 1321 |
AMAT NanoSEM 3D Metrology |
AMAT应用材料 |
NanoSEM 3D |
2002 |
ULTIPLE UNITS AVAILBLE |
国外
|
| 1311 |
AMAT Centura Enabler Chamber Etch |
AMAT应用材料 |
Centura Enabler Chamber |
2004 |
Condition : Very Good |
国外
|
| 1310 |
AMAT Vantage Vulcan RTP |
AMAT应用材料 |
Vantage Vulcan |
2013 |
2 Chamber RTP System |
国外
|
| 1301 |
AMAT Producer GT Chamber CVD |
AMAT应用材料 |
Producer GT Chamber |
2014 |
Parts Machine: 1 x Pro |
国外
|
| 1280 |
AMAT Olympia CVD |
AMAT应用材料 |
Olympia |
2015 |
2Ch ALD System, Single |
国外
|
| 1277 |
AMAT ACMS XT II Component |
AMAT应用材料 |
ACMS XT II |
2005 |
- |
国外
|
| 1276 |
AMAT ACMS0XT-ASG-E Component |
AMAT应用材料 |
ACMS0XT-ASG-E |
2006 |
- |
国外
|
| 1275 |
AMAT UVision 5 Metrology |
AMAT应用材料 |
UVision 5 |
2011 |
- |
国外
|
| 1274 |
AMAT UVision 5 Metrology |
AMAT应用材料 |
UVision 5 |
2012 |
300mm G1 Load Port 2
|
国外
|
| 1266 |
AMAT Centura Carina Chamber Etch |
AMAT应用材料 |
Centura Carina Chamber |
- |
Chamber Only.
Carina |
国外
|
| 1226 |
AMAT Endura II PVD |
AMAT应用材料 |
Endura II |
2006 |
1x DSTTN |
已售出
|
| 1222 |
AMAT NanoSEM 3D Metrology |
AMAT应用材料 |
NanoSEM 3D |
2004 |
Installed. Operationa |
国外
|
| 1221 |
AMAT NanoSEM 3D Metrology |
AMAT应用材料 |
NanoSEM 3D |
2004 |
Installed. Operationa |
国外
|
| 1220 |
AMAT NanoSEM 3D Metrology |
AMAT应用材料 |
NanoSEM 3D |
2004 |
Installed. Operationa |
国外
|
| 1213 |
AMAT Producer GT CVD |
AMAT应用材料 |
Producer GT |
2015 |
3 Chamber: 1x SiCoNi P |
国外
|
| 1212 |
AMAT Producer GT CVD |
AMAT应用材料 |
Producer GT |
2016 |
Frontier FRONTIER etch |
国外
|
| 1211 |
AMAT Producer GT CVD |
AMAT应用材料 |
Producer GT |
2015 |
Frontier FRONTIER etch |
国外
|
| 1210 |
AMAT Producer GT CVD |
AMAT应用材料 |
Producer GT |
2017 |
Frontier FRONTIER etch |
国外
|
| 1173 |
AMAT Octane G2 assy Component |
AMAT应用材料 |
Octane G2 assy |
1999 |
- |
国外
|
| 1172 |
AMAT Octane G2 assy Component |
AMAT应用材料 |
Octane G2 assy |
1999 |
- |
国外
|
| 1008 |
AMAT Endura CL PVD |
AMAT应用材料 |
Endura CL |
2004 |
EFEM(2Ports, Kensingto |
国外
|
| 1007 |
AMAT Endura CL PVD |
AMAT应用材料 |
Endura CL |
2004 |
EFEM(2Ports, Kensingto |
国外
|
| 971 |
AMATUVision 5 Metrology |
AMAT应用材料 |
UVision 5 |
2012 |
2port(TDK TAS300), Yas |
国外
|
| 969 |
AMATUVision 4 Metrology |
AMAT应用材料 |
UVision 4 |
2009 |
[As-is]2ea*TDK load po |
国外
|
| 968 |
AMATUVision 4 Metrology |
AMAT应用材料 |
UVision 4 |
- |
Parts Sale Available
|
国外
|
| 915 |
AMAT Centura DPS2 532 Metal Etch |
AMAT应用材料 |
Centura DPS2 532 Metal |
2006 |
EFEM(Yaskawa), 2xDPS53 |
国外
|
| 914 |
AMAT Endura 2 PVD |
AMAT应用材料 |
Endura 2 |
2004 |
EFEM, TM, 2x PCII, 2x |
国外
|
| 913 |
AMAT Producer SE CVD |
AMAT应用材料 |
Producer SE |
2003 |
2 Twiin( HF_Apex3013, |
国外
|
| 912 |
AMAT Producer SE CVD |
AMAT应用材料 |
Producer SE |
2007 |
3Twin ACL(HF and LF Ge |
国外
|
| 902 |
AMAT Producer GT CMP |
AMAT应用材料 |
Reflexion Desica |
2003 |
Polisher STD, Desica C |
国外
|
| 886 |
AMAT Centura DPS2 Poly Etch |
AMAT应用材料 |
Centura DPS2 Poly |
2007 |
EFEM, TM, 3x DPS2 Poly |
国外
|
| 885 |
AMAT Centura DPS2 Poly Etch |
AMAT应用材料 |
Centura DPS2 Poly |
2006 |
EFEM, TM, 3x DPS2 Poly |
国外
|
| 884 |
AMAT Centura DPS2 Poly Etch |
AMAT应用材料 |
Centura DPS2 Poly |
2006 |
EFEM(Kawasaki, Server) |
国外
|
| 850 |
AMAT Centura DPS2 AdvantEdge G Etch |
AMAT应用材料 |
Centura DPS2 AdvantEdge G5 Mes |
2007 |
G5 Mesa. EFEM(Server, |
国外
|
| 848 |
AMAT Centura DPS2 Chamber Etch |
AMAT应用材料 |
Centura DPS2 Chamber |
- |
DPS2 Poly Chamber, Par |
国外
|
| 847 |
AMAT Centura DPS2 Chamber Etch |
AMAT应用材料 |
Centura DPS2 Chamber |
- |
DPS2 Poly Chamber, Par |
国外
|
| 846 |
AMAT Centura DPS2 Chamber Etch |
AMAT应用材料 |
Centura DPS2 Chamber |
- |
DPS2 Poly Chamber, Par |
国外
|
| 843 |
AMAT Centura DPS2 Metal Etch |
AMAT应用材料 |
Centura DPS2 Metal |
2005 |
EFEM(Server, Kawasaki) |
国外
|
| 842 |
AMAT Centura eMax CT+ Etch |
AMAT应用材料 |
Centura eMax CT+ |
2007 |
EFEM, TM, 3x eMax, AC |
国外
|
| 837 |
AMAT Producer SE CVD |
AMAT应用材料 |
Producer SE |
2009 |
2x BDII 1x UV Cure |
国外
|
| 833 |
AMAT Centura eMax CT+ Etch |
AMAT应用材料 |
Centura eMax CT+ |
2007 |
EFEM(Server, Yaskawa), |
国外
|
| 832 |
AMAT P5000刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P5000 |
1996 |
CVD MarkII, 2x DLH_Del |
国外
|
| 831 |
AMAT Centura DPS Metal Etch |
AMAT应用材料 |
Centura DPS Metal |
1996 |
C1P1, WBLL, 1x Orient, |
国外
|
| 829 |
AMAT Producer SE CVD |
AMAT应用材料 |
Producer SE |
2004 |
HT-SiN 3 Twin, OS_FES( |
国外
|
| 822 |
AMAT DPS2 532 Metal Chamber Etch |
AMAT应用材料 |
DPS2 532 Metal Chamber |
2004 |
DPS2 532 Metal Chamber |
国外
|
| 548 |
AMAT Producer SE CVD |
AMAT应用材料 |
Producer SE |
2006 |
2 Twiin( HF_Apex3013, |
国外
|
| 546 |
AMAT P5000刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P5000 |
1990 |
CVD Mark1, 3x DLH |
国外
|
| 541 |
AMAT Centura Enabler Etch |
AMAT应用材料 |
Centura Enabler |
2006 |
EFEM(NT, Yaskawa, miss |
国外
|
| 540 |
AMAT Centura Enabler Etch |
AMAT应用材料 |
Centura Enabler |
2006 |
EFEM(Server, Yaskawa), |
国外
|
| 539 |
AMAT Centura Enabler Etch |
AMAT应用材料 |
Centura Enabler |
2008 |
EFEM(Server, Yaskawa), |
国外
|
| 537 |
AMAT Centura DPS2 Poly Etch |
AMAT应用材料 |
Centura DPS2 Poly |
2007 |
EFEM(Kawasaki, Server) |
国外
|
| 536 |
AMAT Centura DPS2 Poly Etch |
AMAT应用材料 |
Centura DPS2 Poly |
2007 |
EFEM(Kawasaki, Server) |
国外
|
| 535 |
AMAT Centura AP ISPRINT CVD |
AMAT应用材料 |
Centura AP ISPRINT |
2008 |
4 xALD W CH, OS_SErver |
国外
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| 534 |
AMAT P5000刻蚀机 |
AMAT应用材料 |
P5000 |
- |
CVD Mark1, 2xDLH |
国外
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| 530 |
AMAT Centura Enabler E2 Etch |
AMAT应用材料 |
Centura Enabler E2 |
2010 |
EFEM(Server, Yaskawa), |
国外
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| 517 |
AMAT Centura Avatar Etch |
AMAT应用材料 |
Centura Avatar |
- |
AVATAR 4x Chamber only |
国外
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| 497 |
AMAT Endura CL PVD |
AMAT应用材料 |
Endura CL |
2000 |
EFEM(2 Ports, Kensingt |
国外
|
| 494 |
AMAT Centura Enabler Etch |
AMAT应用材料 |
Centura Enabler |
2010 |
EFEM(NT, Fixed Kawasak |
国外
|
| 493 |
AMAT Centura eMax CT+ Etch |
AMAT应用材料 |
Centura eMax CT+ |
2006 |
EFEM(Server, Single Ya |
国外
|
| 492 |
AMAT Centura eMax CT+ Etch |
AMAT应用材料 |
Centura eMax CT+ |
2004 |
EFEM, TM, 3x eMaX CT+, |
国外
|
| 490 |
AMAT Producer SE CVD |
AMAT应用材料 |
Producer SE |
2007 |
ACL Process, 2 Twin Ch |
国外
|
| 480 |
AMAT Orbot WF720 Metrology |
AMAT应用材料 |
Orbot WF720 |
- |
- |
国外
|
| 466 |
AMAT AMC7811 RTP外延炉 |
AMAT应用材料 |
AMC-7811 |
1990 |
Epitaxy |
国外
|
| 465 |
AMAT AMC7800RPX RTP |
AMAT应用材料 |
AMC7800RPX |
1982 |
Epitaxy |
国外
|
| 464 |
AMAT AMC7821 RTP |
AMAT应用材料 |
AMC7821 |
1983 |
epitaxy |
国外
|
| 463 |
AMAT AMC7821 RTP |
AMAT应用材料 |
AMC7821 |
2001 |
OEM rebuild aug-2001 E |
国外
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