龙玺精密-为您提供TOK TCE-3822蚀刻设备设备买卖+翻新全套解决方案
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编 号:2314 (发布时间:2022.6.20) |
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名 称:TOK TCE-3822蚀刻设备 |
厂 商:TOK |
型 号:TCE-3822 |
年 份:2011 |
状 态:国外 |
TCE-3822电源:三相 200V 125A 60Hz
1/2:蚀刻设备主体 =125 晶圆兼容 2 个石英室
2/2:控制机架 KYOSAN 匹配控制器(MAK5) 1KWRF 电源漏水检测器(WR-NA)
不包括泵W1000*D1850*H2030
电源W600*D1000*H1200 |
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