龙玺精密-为您提供AMAT PRODUCER GT化学气相沉积设备买卖+翻新全套解决方案
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编 号:2330 (发布时间:2022.7.15) |
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名 称:AMAT PRODUCER GT化学气相沉积 |
厂 商:AMAT应用材料 |
型 号:PRODUCER GT |
年 份:2008 |
状 态:国外 |
PRODUCER GT晶圆尺寸:300mm
生产者GT:配置FI
类型:SFEM(制造商:MATTSON)
FI 机器人:SFEM Dual BladeType
FI 机器人控制器:未知
负载端口:2 端口
计量:NA UPS:Powerware 5115 0190-26019
TCS:0090-06236
FES:0090-06237 FIS:0090-06233 CGA 服务器
主机配置 :处理室: 室 A:HARP (USG) 室 B:HARP (USG) 室 C:HARP (USG) 本地中心查找器:是 Xfer 机器人刀片:FX 双甲板陶瓷.
腔体配置:腔体 A 和 B 和 C: 加热器:HA12 真空吸盘 盖子:水冷,带 RF 盖 挡板:未知 面板:水冷 压力计:20/1000 Torr/50Torr Trip RPS:NPP-804L.
子机:显示器机架 x1set 臭氧发生器机架 x1ea 交流机架 x1ea NPP 电源机架 (NPK-300A) x1ea.
系统描述:气箱 部件号:0040-35688 水冷前级配置 - TV:MKS 683B-31931 |
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