AT850C已拆卸在洁净室中,晶圆300mm,无HDD上海价.
ASML TwinScan AT-850C系统,8"-12"
SMIF/FOUP
CYMER ELS 7600激光器
AOM激光器
准分子激光器
LMA模块
底部模块
MCM(机柜模块)
网格,6“
左直列
晶圆载物台
网状阶段
晶圆搬运器
网格处理程序
木炭过滤器
侧通道鼓风机
空气控制柜(ACC)
(2) 覆盖面板
框架部件：MB、Mcab、RH WH
流程模块：
成分/类型
PM1/光源
PM2/对齐
PM3/阶段
内阁
MDC
LCWC
MCWC
排气柜
包括备件
不包括硬盘驱动器(HDD)
操作系统：UNIX
2004年份 |
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