| 龙玺精密-为您提供LAM 2300 Exelan Flex45 ICP蚀刻机设备买卖+翻新全套解决方案
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| 编 号：3911 (发布时间:2024.5.17) |
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| 名 称：LAM 2300 Exelan Flex45 ICP蚀刻机 |
| 厂 商：LAM |
| 型 号：2300 Exelan Flex45 |
| 年 份：- |
| 状 态：国外 |
2300 Exelan Flex45设备型号：2300 Exelan Flex 45
类型：ICP蚀刻机
晶圆尺寸：12“
设备配置：
-有12条输气管线
-维持在纳米图案化转移能力和特别是嵌段共聚物、石墨烯和成型纳米结构蚀刻方面的活动
-C4F8、CF4、O2、Ar、CO、CO2、O2、CHF3、HBr、N2、SF6、H2
-单室自制手动 |
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