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设备名称
制造商
型号
年份
详细配置
状 态
KLA P15轮廓仪
KLA
P15
-
设备完整不缺件,有现货1台;
国内
KLA RS55方阻测试
KLA
RS55
-
设备完整不缺件,有现货2台;
国内
KLA Tencor SFS6420晶圆检测
KLA
SFS6420
1995
设备完整不缺件,有现货1台;
国内
KLA KLA2132缺陷检测测
KLA
KLA2132
-
设备完整不缺件,有现货1台;
国内
KLA KLA2135缺陷检测
KLA
KLA2135
-
在线热机,设备完整不缺件;
国内
KLA Tencor UV-1280SE薄膜测量系统
KLA
UV1280SE
2000
已翻修完无缺件,可验机保固3个月.
国内
KLA SURFSCAN SFS6220颗粒检测仪
KLA科磊
SFS6220
2001
-
国内
KLA 2131缺陷测试仪
KLA科磊
2131
-
备件机 6"
国内
KLA Kevex 7600颗粒测试仪
KLA科磊
Kevex 7600
-
备件机 6"
国内
KLA Kevex 7600颗粒测试仪
KLA科磊
Kevex 7600
-
备件机 6"
国内
KLA Viper 2401缺陷测试仪
KLA科磊
Viper 2401
-
备件机 6"
国内
KLA Tencor 7700缺陷测试仪
KLA科磊
Tencor-7700
-
备件机 6"
国内
KLA AIT 1缺陷测试仪
KLA科磊
AIT 1
-
备件机 6"
国内
KLA Kevex 7600颗粒测试仪
KLA科磊
Kevex 7600
-
备件机 6"
国内
KLA CANDELA CS2薄膜测量
KLA科磊
CANDELA CS2
-
-
国内
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注:设备状态不定期更新,是否已售出请咨询。