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图 片 设备名称 制造商 型号 年份 详细配置 状 态
NIKON NSR 1505G4D步进式光刻机 NIKON NSR 1505G4D步进式光刻机 NIKON NSR-1505G4D 6" 国内
NIKON NSR l505G6D步进式光刻机 NIKON NSR l505G6D步进式光刻机 NIKON NSR-l505G6D - 6" 国内
NIKON NSR 1505i6A光刻机 NIKON NSR 1505i6A光刻机 NIKON NSR-1505i6A - 6" 国内
NIKON NSR 1505i7光刻机 NIKON NSR 1505i7光刻机 NIKON NSR-1505i7 - 6" 国内
NIKON NSR 2005i8光刻机 NIKON NSR 2005i8光刻机 NIKON NSR-2005i8 - 6" 步进式 国内
PEM-1000双面光刻机 PEM-1000双面光刻机 PEM-1000 PEM-1000 6" 国内
NIKON NSR 504光刻板清洗机 NIKON NSR 504光刻板清洗机 NIKON NSR-504 6" 国内
HITACHI SEM S-6000扫描电镜 HITACHI SEM S-6000扫描电镜 HITACHI SEM S-6000 6" 国内
HITACHI SEM S-6600扫描电镜 HITACHI SEM S-6600扫描电镜 HITACHI SEM S-6600 6" 国内
HITACHI SEM S-7000扫描电镜 HITACHI SEM S-7000扫描电镜 HITACHI SEM S-7000 6" 国内
HITACHI S-5000扫描电子显微镜 HITACHI S-5000扫描电子显微镜 HITACHI S-5000 - 6" 国内
NISSIN NH-20SR离子注入机 NISSIN NH-20SR离子注入机 NISSIN日新 NH-20SR - 6" 国内
DF4中束流离子注入机 DF4中束流离子注入机 中束流 DF4 6" 国内
DF4中束流离子注入机 DF4中束流离子注入机 中束流 DF4 6" 国内
高能IH-860离子注入机 高能IH-860离子注入机 高能 IH-860 - 6" 国内
高能IX-1500离子注入机 高能IX-1500离子注入机 高能 IX-1500 - 6" 国内
Varian 120-10大束流离子注入机 Varian 120-10大束流离子注入机 Varian 120-10 - 6" 国内
Varian 8010大束流离子注入机 Varian 8010大束流离子注入机 Varian 8010 - 6" 国内
EATON NV-10SD-80大束流离子注入机 EATON NV-10SD-80大束流离子注入机 EATON NV-10SD-80 - 6" 国内
EATON NV-10SD-160大束流离子注入机 EATON NV-10SD-160大束流离子注入机 EATON NV-10SD-160 - 6" 国内
EATON NV-1080大束流离子注入机 EATON NV-1080大束流离子注入机 EATON NV-1080 - 6" 国内
EATON NV-GSD-80大束流离子注入机 EATON NV-GSD-80大束流离子注入机 EATON NV-GSD-80 - 6" 国内
Coater SC-W80A匀胶显影机 Coater SC-W80A匀胶显影机 匀胶显影机 Coater SC-W80A 6" 国内
Coater SCW-636-BV匀胶显影机 Coater SCW-636-BV匀胶显影机 coater Coater SCW-636-BV 6" 国内
developer SDW-636-CV匀胶显影机 developer SDW-636-CV匀胶显影机 developer developer SDW-636-CV 6" 国内
Coater/developer SKW-629 Coater/developer SKW-629 Coater/developer Coater/developer SKW-629 6" 国内
coater MK-II匀胶显影机 coater MK-II匀胶显影机 coater coater MK-II 6" 国内
developer MK-II匀胶显影机 developer MK-II匀胶显影机 developer developer MK-II 6" 国内
CANON CDS-630匀胶显影机 CANON CDS-630匀胶显影机 CANON CDS-630 - 国内
HITACHI M308刻蚀机 HITACHI M308刻蚀机 HITACHI M308 - 国内
HITACHI M318刻蚀机 HITACHI M318刻蚀机 HITACHI M318 - - 国内
RAM250刻蚀机 RAM250刻蚀机 刻蚀机 RAM250 - 国内
Tegal 901e等离子干法刻蚀机 Tegal 901e等离子干法刻蚀机 Tegal 901e - - 国内
Tegal 903e等离子干法刻蚀机 Tegal 903e等离子干法刻蚀机 Tegal 903e - - 国内
E630刻蚀机 E630刻蚀机 刻蚀机 E630 5" 国内
TEL TE5000刻蚀机 TEL TE5000刻蚀机 TEL TE5000 - 5" 国内
TEL TE480刻蚀机 TEL TE480刻蚀机 TEL TE480 - 5",6" 国内
TEL TE580刻蚀机 TEL TE580刻蚀机 TEL TE580 - 6" 国内
AMAT 8330刻蚀机 AMAT 8330刻蚀机 AMAT应用材料 AMAT 8330 6" 国内
AMAT 8110刻蚀机 AMAT 8110刻蚀机 AMAT应用材料 AMAT 8110 6" 国内
OAPM-400刻蚀机 OAPM-400刻蚀机 刻蚀机 OAPM-400 6" 国内
TEL TE8500刻蚀机 TEL TE8500刻蚀机 TEL TE8500 - 6" 国内
TCA-3822刻蚀机 TCA-3822刻蚀机 刻蚀机 TCA-3822 5" 国内
TSE-360刻蚀机 TSE-360刻蚀机 刻蚀机 TSE-360 6" 国内
DES-206-254AV去胶机 DES-206-254AV去胶机 去胶机 DES-206-254AV 6" 国内
TCA-2600去胶机 TCA-2600去胶机 去胶机 TCA-2600 6" 国内
TCA-3400去胶机 TCA-3400去胶机 去胶机 TCA-3400 6" 国内
OPM-1200去胶机 OPM-1200去胶机 去胶机 OPM-1200 4" 国内
S4150-21220去胶机 S4150-21220去胶机 去胶机 S4150-21220 5" 国内
S3150去胶机 S3150去胶机 去胶机 S3150 6" 国内
PEL516去胶机 PEL516去胶机 去胶机 PEL516 6" 国内
ANELVA ILC-1012MKII溅射台 ANELVA ILC-1012MKII溅射台 ANELVA ILC-1012MKII - 6" 国内
ANELVA I-1060 SV PVD溅射台 ANELVA I-1060 SV PVD溅射台 ANELVA I-1060 SV 6" 国内
ANELVA ILC-1013溅射台 ANELVA ILC-1013溅射台 ANELVA ILC-1013 4",6" 国内
ANELVA ILC-1015溅射台 ANELVA ILC-1015溅射台 ANELVA ILC-1051 - 6" 国内
MRC603溅射台 MRC603溅射台 溅射台 MRC603 5" 国内
MCH-9000溅射台 MCH-9000溅射台 溅射台 MCH-9000 4",6" 国内
PE2400溅射台 PE2400溅射台 溅射台 PE2400 6" 国内
PE4400溅射台 PE4400溅射台 溅射台 PE4400 - 国内
SLRK-S131溅射台 SLRK-S131溅射台 溅射台 SLRK-S131 - 国内
EVA-500蒸发台 EVA-500蒸发台 蒸发台 EVA-500 - 国内
SM-4804蒸发台 SM-4804蒸发台 蒸发台 SM-4804 - 国内
SEC-4804蒸发台 SEC-4804蒸发台 蒸发台 SEC-4804 - 国内
EVC-1701蒸发台 EVC-1701蒸发台 蒸发台 EVC-1701 5" 国内
EX650蒸发台 EX650蒸发台 蒸发台 EX650 4",5",6" 国内
横式炉 XL-7扩散炉 横式炉 XL-7扩散炉 扩散炉 横式炉XL-7 4",5",6" 国内
横式炉 XL-8扩散炉 横式炉 XL-8扩散炉 扩散炉 横式炉XL-8 6" 国内
横式炉 DL-8P扩散炉 横式炉 DL-8P扩散炉 扩散炉 横式炉DL-8P 4" 国内
横式炉 DD7400扩散炉 横式炉 DD7400扩散炉 扩散炉 横式炉DD7400 6" 国内
横式炉 UX-1080扩散炉 横式炉 UX-1080扩散炉 扩散炉 横式炉UX-1080 5" 国内
横式炉 855扩散炉 横式炉 855扩散炉 扩散炉 横式炉855 6" 国内
KOKUSAI DD-802V立式扩散炉 KOKUSAI DD-802V立式扩散炉 KOKUSAI DD-802V - 4",5" 国内
竖式炉 DJ-813扩散炉 竖式炉 DJ-813扩散炉 扩散炉 竖式炉DJ-813 - 国内
竖式炉 DJ-805扩散炉 竖式炉 DJ-805扩散炉 扩散炉 竖式炉DJ-805 - 国内
竖式炉 VF-5100扩散炉 竖式炉 VF-5100扩散炉 扩散炉 竖式炉VF-5100 - 国内
CONCEPT ONE(200) CONCEPT ONE(200) CVD CONCEPT ONE(200) - 国内
CONCEPT ONE(150) CONCEPT ONE(150) CVD CONCEPT ONE(150) - 国内
KOKUSAI DJ-802V立式扩散炉 KOKUSAI DJ-802V立式扩散炉 KOKUSAI DJ-802V - LPCVD 国内
APCVD AMS-2100 APCVD AMS-2100 CVD APCVD AMS-2100 - 国内
UL-8 横式 LP-CVD UL-8 横式 LP-CVD CVD UL-8 横式 LP-CVD - 国内
AP-CVD-2800 AP-CVD-2800 CVD AP-CVD-2800 6" 国内
WJ-999 WJ-999 - WJ-999 5" 国内
VDS-5600 VDS-5600 - VDS-5600 5" 国内
VDS-5000 VDS-5000 - VDS-5000 - 6" 有3台; 国内
VCF-615S VCF-615S - VCF-615S 5" 国内
抛光机 抛光机 - 36SPAN 5" 国内
减薄机 减薄机 - DFG-28I/F 6" 国内
减薄机 减薄机 - SVG-502 6" 国内
TEL 19S探针台 TEL 19S探针台 TEL TEL 19S 6" 国内
多晶硅铸造炉 多晶硅铸造炉 - SUC400 Plus 6" 国内
AMAT AMC 7811 RTP外延炉 AMAT AMC 7811 RTP外延炉 AMAT AMC-7811 - 6"有8台 国内
AMAT 7700外延炉 AMAT 7700外延炉 AMAT应用材料 7700 - 6" 国内
EGV-28GX外延炉 EGV-28GX外延炉 外延炉 EGV-28GX 6" 国内
EGV-28FM外延炉 EGV-28FM外延炉 外延炉 EGV-28FM 5" 国内
PEM-500双面光刻机 PEM-500双面光刻机 PEM-500 PEM-500 6" 国内
NIKON NSR 1505G6D步进光刻机 NIKON NSR 1505G6D步进光刻机 NIKON NSR-1505G6D 6" 国内
涂胶机6 涂胶机6" - SCW-629 6" 国内
显影机6 显影机6" - SDW-629 5",6" 国内
深槽刻蚀机6 深槽刻蚀机6" - AMS 200 5",6" 国内
湿法刻蚀机6 湿法刻蚀机6" - AMS-2003SE 8" 国内

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注:设备状态不定期更新,是否已售出请咨询。