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设备名称

制造商

型号

年份

详细配置

状态

4143

ASML PAS 5500/850D光刻机

ASML

PAS-5500/850D

2005

设备完整不缺件,2024.01月停产,目前仍

国外

4125

ASML AT-850B光刻机

ASML

AT-850B

2002

12",2024/5台湾拆机,无缺件,有HD

国内

4040

ASML AT1100光刻机

ASML

AT1100

2002

设备完整不缺件,已翻新在台湾;

国内

3989

ASML XT1250D光刻机

ASML

XT1250D

设备完整不缺件;

国外

3848

ASML AT850C光刻机

ASML

AT850C

2004

已拆卸在洁净室中,晶圆300mm,无HDD上

国外

3783

ASML PAS 5500/1150C光刻机

ASML

5500/1150C

2003.06

国外

2803

ASML PASS 5500/100D光刻机

ASML

PASS 5500/100D

1996

6in(有3台)

国外

2763

ASML XT1250D光刻机

ASML

XT1250D

无尘车间正常运转中

国外

2609

ASML TWINSCAN 1100光刻机

ASML

TWINSCAN 1100

2002

新型320毫米/秒双级
最高的光学利用

国内

2296

ASML AT1150C光刻机

ASML

AT-1150C

2004

Stepper 12"

国内

1242

ASML XT1250B光刻机

ASML

XT1250B

2005

国外

1186

ASML XT1700Gi光刻机

ASML

XT1700Gi

2006

国外

1122

ASML XT1700FI光刻机

ASML

XT1700FI

2009

国外

1100

ASML XT1250D光刻机

ASML

XT1250D

2005

国外

496

ASML XT1250D光刻机

ASML

XT1250D

2004

1) Wafer 12inch
2) Re

国外

495

ASML XT1700FI光刻机

ASML

XT1700FI

2012

1700iP, uniformity(1.0

国外

页次： 1 / 1页每页：500 设备数：16　　 9[1]: 总共有1页

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