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半导体设备
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LAM
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ID
设备名称
制造商
型号
年份
详细配置
状 态
4147
LAM RAINBOW 4520i干法刻蚀机
LAM
4520i
2000
设备完整不缺件,在美国仓库中;
国外
4146
LAM RESEARCH 9400等离子刻蚀机
LAM
9400
2000
设备完整不缺件,在美国仓库中;
国外
4078
LAM TE490干法刻蚀机
LAM
TE490
-
6"
国内
4077
LAM TE490干法刻蚀机
LAM
TE490
-
6"
国内
4022
LAM 2300 Exelan Flex蚀刻机
LAM
2300 Exelan Flex
-
4室Ath-1600涡轮增压+交流箱;
国内
4014
LAM C2 Triple SPEED气相沉积
LAM
C2 Triple SPEED
-
设备完整不缺件;
国外
3911
LAM 2300 Exelan Flex45 ICP蚀刻机
LAM
2300 Exelan Flex45
-
设备型号:2300 Exelan Flex
国外
3893
LAM RAINBOW 4520XL干法刻蚀机
LAM
4520XL
-
-
国外
3839
LAM RAINBOW 4420等离子刻蚀机
LAM泛林
RAINBOW-4420
1994
设备完整不缺件,目前在亚洲.
ISO蚀刻
已售出
3825
LAM RAINBOW 4520XL干法刻蚀机
LAM泛林
4520XL
2000
热机运行中,但风扇需要更换.
国外
3527
LAM 490B干法刻蚀机
LAM泛林
490B
-
备件机 6"
国内
3526
LAM 490B干法刻蚀机
LAM泛林
490B
-
备件机 6"
国内
2802
LAM SEZ203晶圆旋转刻蚀机
LAM泛林
SEZ203
-
-
已售出
2405
LAM RAINBOW 4420等离子刻蚀机
LAM泛林
RAINBOW 4420
-
6" As-is
国外
2334
LAM RESEARCH 2300多晶硅蚀刻机
LAM泛林
2300
2005
missing parts缺件:
Load
已售出
2313
LAM RESEARCH 9400 SE等离子刻蚀机
LAM泛林
9400 SE
1997
整机完整不缺件
国外
2234
LAM TCP9400氮化镓刻蚀机
LAM泛林
TCP9400(备用机)
2018-12-24
260台设备可打包或单独出售;
已售出
1986
LAM Chambers for Altus, 12
LAM泛林
Chambers for Altus, 12
-
-
国外
1977
LAM RESEARCH EOS
LAM泛林
RESEARCH EOS
-
-
国外
1655
LAM ONE-W PLASMA CVD_W
LAM泛林
ONE-W
1995
CVD
国外
1654
LAM TWO PLASMA CVD
LAM泛林
TWO
2000
CVD
国外
1653
LAM TWO Speed PLASMA CVD
LAM泛林
TWO Speed
2000
CVD
国外
1652
LAM RST201刻蚀机
LAM泛林
RST201
1996
WET
国外
1651
LAM RST201刻蚀机
LAM泛林
RST201
1997
WET
国外
1650
LAM SEZ203晶圆旋转刻蚀机
LAM泛林
SEZ203
2005
WET
国外
1520
LAM RAINBOW 4420等离子刻蚀机
LAM泛林
RAINBOW 4420
-
6" As-is
国外
1387
LAM Synergy CMP
LAM泛林
Synergy
1997
-
国外
1160
LAM(Novellus) Vector Express CVD
LAM(Novellus)
Vector Express
2011
CVD34x, underutilized
国外
1159
LAM(Novellus) Vector Express CVD
LAM(Novellus)
Vector Express
2011
-
国外
836
LAM(Novellus) Vector CVD
LAM(Novellus)
Vector
2005
Vector RPC
国外
814
LAM(Novellus) Vector Express CVD
LAM(Novellus)
Vector Express
2004
PESINn PETEOS, Loadpor
国外
516
LAM Strip45 Chamber Etch
LAM泛林
Strip45 Chamber
2010
Strip45 chamber only
国外
515
LAM Strip45 Chamber Etch
LAM泛林
Strip45 Chamber
2010
Strip45 chamber only
国外
513
LAM Strip45 Chamber Etch
LAM泛林
Strip45 Chamber
2010
Strip45 chamber only,
国外
504
LAM(Novellus) Vector SOLA xT CVD
LAM(Novellus)
Vector SOLA xT
2011
UV Cure
国外
489
LAM(Novellus) Vector CVD
LAM(Novellus)
Vector
2004
-
国外
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